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飞秒激光在硅表面微加工的研究 报告人： 耿娜 指导老师： 傅星 教授 Email：gengna1004@126.com 研究背景 实验系统 实验结果及分析 长脉冲激光与短脉冲激光的比较 研究背景 1飞秒=10-15秒 长脉冲激光与短脉冲激光的比较长脉冲激光加工 长脉冲激光与短脉冲激光的比较短脉冲激光加工 研究背景 飞秒激光在物理、化学和生物等基础学科和大的科学工程方面获得广泛应用。由于它脉冲极短、峰值功率高、可以聚焦到非常小的尺寸、去除物质的深度极浅、持续时间短、引起的变形小等，最近几年飞秒激光在微纳米加工方面越来越引起人们注意，在微机械、微电子和微光学等多个领域中获得成功应用。 研究背景： 飞秒激光特点 加工孔径的熔融区小 可以实现多种材料，如金属，半导体，透明材料内部甚至生物组织等的微加工雕刻 飞秒激光加工机理 飞秒激光进行微加工时，其起始物理过程是物质内部自由电子吸收激光能量。由于脉冲短，峰值功率高，与物质相互作用时发生强烈的多光子吸收过程。在极短时间内产生数量确定的大量自由电子，克服了物质本身在小空间范围内固有自由电子分布的随机性，从而保证后续物理过程的确定性，大大提高了飞秒激光加工的精细程度。 飞秒激光的典型应用 去除物质，对加工对象进行精细雕刻，在微机械领域有重要应用 飞秒激光的典型应用 利用飞秒激光使聚合物变形，