显微镜分类及成像原理PPT.pptVIP

2-2-2 扫描电子显微镜 组成 真空系统：：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效 真空柱：一个密封的柱形容器 真空泵：用来在真空柱内产生真空 电子束系统：产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象 电子枪：用于产生电子 电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成束 成像系统：如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等区分信号以获得所需要的信息 2-2-2 扫描电子显微镜 应用范围 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 生物：种子、花粉、细菌…… 医学：血球、病毒…… 动物：大肠、绒毛、细胞、纤维…… 材料：陶瓷、高分子、粉末、环氧树脂…… 化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥(杆菌) 、机械、电机及导电性样品，如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察……)电子材料等。 2-2 电子显微镜 光学显微镜、透射电子显微镜、扫描电子显微镜成像原理比较 2-3-1 磁力显微镜 采用磁性探针对样品表面扫描检测，检测时，对样品表面的每一行都进行两次扫描 第一次：在样品表面扫描，得到样品的表面形貌信息，这个过程与在轻敲模式中成像一样； 第二次：探针回到当前行扫描的开始点，增加探针与样品之间的距离（即抬起一定的高度），根据第一次扫描得到的样品形貌，始终保持探针与样品之间的距离，进行第二次扫描。在这个阶段，可以通过探针悬臂振动的振幅和相位的变化，得到相应的长程力的图像 2-3-1 磁力显微镜