2013 应变式传感器1课件.pptVIP

第6章 传感器原理与测量电路(1) （参看第10章）电阻应变式传感器 一.金属电阻应变片的工作原理 应变片的结构与种类 电阻应变片的特性 应变式传感器是基于金属电阻应变效应原理做成的一种 传感器。其核心元件是电阻应变片，它可将机械应力变化转 换成电阻变化。通过测量电阻应变片的电阻值变化,来测量位 移,加速度,力,力矩,压力等各种参数. 传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成。它的 弹性元件是柱体或梁体(柱式;梁式等),弹性元件在感受被测 量时产生变形,而粘贴在弹性元件上的金属丝的电阻随着它所 受的机械变形的大小而发生相应的变化的现象称为金属的电 阻应变效应。 1）电阻丝（敏感栅）：排列成网状的高阻金属丝。它是应变片的转换元件。图中, L称为应变计的标距, 也称（基）栅长, a称为（基）栅宽, L×a称为应变计的使用面积。 （一般是合金，电阻率较高，直径约0.025mm） 2）基片（覆盖层）：将敏感栅用粘合剂贴在绝缘的基片4上。作用是将传感器弹性体的应变传递到敏感栅1的中间介质,并起到电阻丝和弹性体间的绝缘作用。 本学时主要讲解内容： 机械工程测试技术 13-14学时 一.金属电阻应变片的工作原理 取一根细电阻丝，两端接上一台3位半位数字式欧姆表,记下其初始阻值（图中为10.01?）。当我们用力将该电阻丝拉长时，会发现其阻值略有增加（图中增加到为10.05?）。 1. 工作原理 金属丝的电阻为什么会随其发生的应变而变化呢？下面我们来具体的推导一下。 设金属丝长为l、 截面积为A、 电阻率为ρ,则电阻R的表达式为: （1） 从（1）式可看出，金属丝的电阻的大小和材料的电阻率ρ有关，还和它的几何尺寸有关，而金属丝在受到机械变形的过程中，这三者都要发生变化，因而引起金属丝的电阻变化。 若电阻丝在受到拉力的作用时, 其长度变化Δl, 截面积变化ΔA, 电阻率变化Δρ, 而引起电阻变化ΔR, 则电阻的相对变化量为: 设电阻丝为圆形截面, 半径为r, 因A=πr2, ΔA= 2 πrΔr, （2） 则 称为横向应变 由材料力学可知，长度的变化量用应变量εx表示： Δl l =εx 称为纵向应变。 面积的变化量用应变量εy表示： =εy 金属丝受拉力时，沿轴向伸长，沿径向缩短则轴向应变和径向应变的关系为： εy=-μεx 即横向应变与纵向应变之比μ为金属材料的泊松系数。 电阻率相对变化Δρ ?ρ/ρ=λρ=λEε 将以上代入（2）有： ?R/R=(1+2μ+λE)ε （3） 通常将式中(1+2μ+ λE)用K0表示,称为灵敏系数。因此上式可表示为: ?R/R=K0ε (4) 式中杨氏模量E=1.67×1011Pa 压阻系数λ=(40-50)×10-11m2/N 表示当发生应变时的灵敏系数为电阻变化率与其应变的比值。 λ 对于金属, λE很小, 可忽略不计, μ=0.25～0.5, 故k0=1+2μ≈1.5～2。 对于半导体, λE比1+2μ大得多, 则λE≈50～100, 故（1+2μ）可以忽略不计。 可见, 半导体灵敏度要比金属大50~100倍。  即: （1）丝式 下图所示为其丝式的一种构造简图。 2. 应变片的结构与种类 电阻应变片主要分为 常见的金属电阻应变片有，箔式 金属电阻应变片 半导体应变片 丝式 薄膜式 主要由四部分组成：1）电阻丝（敏感栅），4）基片，2）保护片，3）引线 3）保护片2：起着保护电阻丝的作用 4）引线3：电阻丝较细, 一般在0.015~0.06 mm, 其两端焊有较粗的低阻镀锡铜丝（0.1~0.2mm），以便与测量电路连接。 利用光刻、腐蚀等工艺制成一种很薄的金属箔栅，厚度一般在0.003~0.010 mm，粘贴在基片上，上面再覆盖一层薄膜而制成。其优点是表面积和截面积之比大，散热条件好，允许通过的电流较大，可制成各种需要的形状，便于批量生产。 图： 箔式应变片 （2）箔式应变片 图2.3 几种箔式应变计 （3）金属薄膜应变片 金属薄膜应变片是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法，在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。 在实际应用中,选用应变片时,要考虑它的性能参数,主要有:电阻值;灵敏度;允许电流和应变极限等,目前市售的应变片电阻值已标准化,主要规格有60?,120 ?,350 ?,600 ?,1000 ?. 二.电阻应变片的主要特性 1.应变片的主要规格： 应变片再选用时，主要选用它的电阻值，且电阻值已标准化，主要规格有：60Ω；120Ω；350Ω；600Ω；1000Ω等，其中120Ω的用的最多。 2.应变片的线性度和灵敏度系数 金属丝做成应变片后, 由于基片、粘合