电子回旋共振微波等离子体及其在材料科学中的应用.docVIP

------------------------------------------------------------------------------------------------ —————————————————————————————————————— 电子回旋共振微波等离子体及其在材料科学中的应用 施　昌　勇 (北京服装学院基础部　100029) 　　低气压、低温放电方面的一个重要的最新进展 是电子回旋共振(ECR)放电。这种技术首先是在核聚变研究中发展起来的。最初,它被用于磁镜实验装置产生和加热等离子体,后来,又被发展成为托卡马克、串级磁镜等聚变装置实验中进行等离子体加热的主要手段之一,即电子回旋共振加热(ECRH)。目前,这一高技术已被移植到各种低温等离子体应用之中,显示了蓬勃的生命力。 电子回旋共振微波等离子体是指:当输入的微波频率ω等于电子回旋共振频率ωce时,微波能量可以共振耦合给电子,获得能量的电子电离中性气体,产生放电。电子回旋频率为ωce=eB/m,e和m为电子电荷及其质量,B是磁场强度。我们通过调节磁场位形,使得这个条件在放电室某一体积或表面积中得到满足,即ω=ωce。在磁场中,电子通过共振吸收机制获得能量,从而电离或激发中性粒子。这种放电可以在低气压下进行。通过改变放电气压、气体流量、磁场形态和输入微