一种用于薄膜太阳能电池的氧化锌铝靶材的制备方法.pdf

[51 J Int. Cl. 口9J 中华人民共和国国家知识产权局 C23C 14/08 (2006. 01 ) C23C 14/34 臼脑5.01 ) [12 ]发明专利申请公布说明书 [21 J 申请号 200810080155.5 [43] 公开日 2009 年5 月 27 日 [11 ]公开号 CN 101440470A [22] 申请日 2008.12.17 [74] 专利代理机构 石家庄新世纪专利商标事务所 [21] 申请号 200810080155.5 有限公司 [71] 申请人石家庄同人伟业科技有限公司 代理人 董金国 地址 050035 河北省石家庄市高新技术产业 开发区汾河道81 号 [72] 发明人康明生魏雨张德丰马键凯 种最顺岳学军武喜红 权利要求书 1 页说明书4 页 [54] 发明名称 一种用于薄膜太阳能电池的氧化辞铝靶材的 制备方法 [57] 摘要 一种用于薄膜太阳能电池的氧化辛辛铝靶材的制 备方法，包括以下步骤( 1 )以辞盐和铝盐为原 料，加纯水溶解，调 pH 至7.0-10.5 ，然后在水热 条件下，控温90 - 140C 反应1. 0 - 2.0 小时(2 ) 过滤使产物和母液分离，用纯水洗涤、烘干，得到 氧化辞铝粉体(3 )所得粉体在 400 - 550C 锻烧 2 小时 (4 )将步骤(3) 所得粉体装入真雪热压炉，抽 真空 1 - 100Pa，加压 50 - 100MPa，然后慢慢升 温，在 1200 - 1400C 内保温烧结 2 - 5 小时，再缓 慢降温，制得相对密度不低于 95% 的氧化悻铝 (ZAO) 陶瓷靶材。 所制备的靶材用于镀膜制造成本 经济且无毒，易于实现掺杂，且ZAO 薄膜在等离子 体中稳定性好，是 ITO 的替代产品，可广泛用于太 阳能透明电极制造领域。 200810080155.5 权利要求书 第1/1支 1 、一种用于薄膜太阳能电池的氧化辞铝靶材的制备方法，其特征在于: 包括以下步骤z (1) 以锋盐和铝盐为原料，如纯水溶解，并如碱谓 pH 至 7.0，...，10.5 ，然后 在水热条件下，控制温度 90~1400C转化反应1.0~2.0 小时: (2) 经过滤使产物和母液分离，用纯水洗涤、烘干，得到氧化镑铝粉体: (3) 所得粉体在400~5500C般烧2 小时，制得靶材所需的氧化辞铝粉体: (4) 将步骤。〉所制粉体装入真空热压炉，抽真空至tll~100Pa，加压至5 0 50~100班Pa，然后慢撞开温，温度在 1200，...， 1400 C 内保温绕结 2~5 小时，再缓 慢降温，制得相对密度不低于 95% 的氧化锋铝陶瓷靶材。 2、根据权利要求 1 所述的用于薄膜太陆能电拙的氧化锋铝靶材的制备方 法，其特征在于=所用钵盐为醋酸锋、氯化辞、硝酸辞及硫酸镑的一种，铝 盐为氯化铝或硝鼓铝，其所用锋盐和铝盐的纯度均不能于99% 。 3、根据权利要求1 所述的用于薄膜太阳能电池的氧化辞铝靶材的制备方 法，其特征在于:制备的氧化锋铝粉体中氧化铝含量为1. O~5. 0% 。