基于PLC 的洁净厂房空气处理控制系统设计魏海波1 王准2 1，罗克韦 ....pdfVIP

电子发烧友 电子技术论坛 基于 PLC 的洁净厂房空气处理控制系统设计 1 2 魏海波 王准 1，罗克韦尔自动化重庆分公司，重庆 400010 2，重庆横河川仪有限公司， 重庆 401121 摘要：本文介绍洁净室空气处理系统自动控制的设计和应用。概述了 MAH 的控制原理，详 细地阐述了洁净室露点和温度的控制，并简要地介绍了洁净室正压差控制和设备的群控原 则。最后给出了 PLC 在半导体洁净厂房控制系统的应用实例。 关键词：空气处理，露点，温度，工程实例 中图分类号：TP272 文献标识码：A The Design of Clean-room HVAC Control System Based-on PLC 1