基于时间序列的s-EWMARtR操纵中SPC操纵图的设计.pdfVIP

摘要 摘要 Run-to．Run(RtR)过程控制自上世纪90年代提出之后，已获得了大量的研究与 发展。它是SPC与EPC的一种联合控制方法，取各自的优点，弥补彼此的缺点。现 有大量文献都是集中在过程中有确定漂移趋势时，如何在EPC中改进调整措施， 少有文献研究改进SPC在控制过程中的作用，多是用输出值与目标值的偏差做简 单的休哈特控制图，但该偏差并不是独立同分布的，由此得到的统计性质并不可 靠。本文在s．EWMARtR过程控制中引入时间序列分析，可以得到一个独立同分 布的残差，在此基础上可以作各种标准的SPC控制图，不但可以对过程漂移趋势 (尤其是小漂移)进行快速检测，还可以检验对过程噪声因子的假设。同时，本 文还提出了s．EWMARtR过程控制加权因子的最优选择准则；已有文献是从状态 空间理论出发来解决该问题，然而它受限于对过程噪声因子为白噪声的假定，本 文提出的准则不限于该假定，而是扩大到一般的ARIMA(p，d，q)序列。最后，本文 对RtR，MMSE，及PID三个工业生产中常用的控制方案做一个简单的比较分析。 EPCRtR MMSEPID 关键词SP