光电技术与光纤基础精品课件-应用二、干涉测量.pptVIP

* 应用二、激光干涉测试技术 一、干涉原理与干涉条件 设有两列传播方向、频率都相同的光波在空间相遇，相遇处两波方程分别为： 光强 若两波列本是从同一波列中分束得到，即它们本来具有相同的相位，则它们再次相遇时的相位差取决于光程差： 光程差 相干加强 相干减弱 平行光束 单缝 双缝 干涉 平行光束 单缝 双缝 干涉图 i 条纹间距 空气楔： 干涉条纹形状取决于干涉系统 例： 等厚干涉 e 二、相干信号的相位调制 若被测量的参量使相干光波的相位发生变化，再通过干涉作用把光波相位的变化变换为振幅的变化，------称为相位调制 相位调制的干涉系统------ 能引起相位变化的物理量是光路长L和介质折射率n, 因此可将被测量的变化通过各种方式变换为L和n的变化，再用干涉的方法测出 光路长和介质折射率随信号的变化对相位变化的影响： 用于相位调制的常用干涉系统： 反射镜M2固定在被测物体上，当被测物体有位移或形变时，将使测量镜发生位移，从而使光电检测器测得的光强有明暗变化，计数得到明暗变化次数就可以计算出位移量， 设测量镜的位移量为Δx，则引起的光程变化为：2nΔx 即测量镜λ/2的位移引起干涉条纹一个周期的变化。 测量分辨率达：10-13m 缺点：反射光束有可能返回激光器而影响激光的输出。 解决办法：调置光隔离器。 光电检测器 传感器 测量镜M2 固定反射镜M1 a)迈克尔逊干涉仪 b)吉曼干