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11ALDAl2O3表面钝化性能及背面电极制备工艺的研究
Sun Yat-Sen University Institute for Solar Energy Systems
中山大学太阳能系统研究所
ALD-Al O 背面钝化性能及背
2 3
面电极制备工艺研究
报告人：朱彦斌
中山大学太阳能系统研究所
中山大学太阳能系统研究所
主要内容
一、研究背景 硅片减薄
二、ALD-Al O 钝化性能研究
2 3
三、背面电极制备工艺探讨
四、结论及展望
中山大学太阳能系统研究所
一、研究背景
350µm
太阳电池成本控制
270µm
240µm
成 效率 200µm
本 180µm
降 ….
160µm
低 硅片厚 ….
度 ?
中山大学太阳能系统研究所
硅片厚度降低带来的影响
1）背面复合增加
2）长波光吸收降低
3）电池片翘曲增加
电池效率与硅片厚度及背面复合速率关系
Armin G.Aberle. Surface passivation of crystalline silicon solar cells: A review.
Prog.Photovolt:Res.Appl,2000;8:473-487.
电池效率与硅片厚度及背反射率的关系
中山大学太阳能系统研究所
怎样解决以上问题？
中山大学太阳能系统研究所
二、ALD-Al O 钝化性能研究
2 3
1.ALD-Al O
2 3
起始状态 Al(CH ) 化 净化
3 3
学吸附
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