微定位平台技术的研究.docVIP

文献综述 摘要：随着微电子技术，宇航，生物工程等学科的迅速发展，微定位系统在电子，光学，机械制造等众多技术领域中得到越来越广泛而深入的应用。本文简要介绍了微定位技术的发展历史,并对其关键技术的实现进行了较为详细的分析。通过思考和总结，找到微定位平台发展过程中的问题所在以及突破口。文章的最后分析了该研究领域的发展趋势。 关键词：微定位 驱动器 执行器 控制 检测 Abstract: As the?disciplines such as microelectronics,?aerospace, and bioengineering?developed rapidly, micro positioning system is playing a more and more important role in technical fields like electronic, optical, machinery, it has more?extensive and intensive?applications.?Based on the historical development of?micro -positioning? technology, combined with?the realization of the key technology?. By ? a more?detailed analysis?and summary, the author hopes to?find out the breakthroughs in?this research area?and?the remaining problems, and?analyze?the trend of?the development of micro-positioning?platform. Keyword: micro positioning, driver, actuator, control, testing 1.前言： 在精确定位技术中，上世纪 50 年代，大型工具显微镜和精密机床只能做到毫米量级 ,到60 年代万能测量显微镜、坐标镗床和坐标磨床则可到微米量级 ,到 70～80 年代数控机床和图形发生器已提高到亚微米量级。 而近年来，随着微电子技术，宇航，生物工程等学科的迅速发展，正式进入了“亚微米-纳米”时代。在电子，光学，机械制造等众多技术领域中，迫切需要高精度，高分辨率，高可靠性的微定位系统，用以直接工作或配合其他仪器设备完成高精度的研究和使用。微定位技术在微机电系统，纳米制造技术，微电子及纳米电子技术，纳米生物工程等众多高科技领域将发挥越来越重要的作用。 本文通过对微定位技术的发展历史，结合其关键技术的实现，进行了较为详细的分析，通过思考和总结，找到微定位平台发展过程中的问题所在以及突破口，并分析了该研究领域的发展趋势。 2.支撑技术分析： 微定位技术的实现，依赖的支撑技术包括：微位移驱动器、微位移执行机构、位移测量和控制方法[1]。 2.1 微位移驱动器 进行微定位技术研究，微位移驱动是微定位平台的关键部分。常用的机械式驱动方式，如丝杠-螺母机构 、杠杆机构 、楔块机构 、弹性机构等，可靠性较高，但这些驱动方法均只适用于大行程的定位，难以满足微定位的行程和精度要求。 为满足微纳定位的定位要求，国内外对微纳定位的驱动方式进行了不断而且深入的研究，下表列出各种使用较多的微驱动器的性能比较［2］： 表1-1 各种微驱动器比较 （其中，L表示直线运动，Ｒ表示旋转运动） 基于电磁、静电、压电陶瓷或形状记忆合金、热膨胀的微型驱动器在近几年是研究的热点。 电致伸缩效应与压电效应 在外电场作用下电介质所产生的与场强二次方成正比的应变, 称为电致伸缩[3]。电致伸缩元件由于具有高分辨率, 激励电压低, 受温度影响较小, 价格低廉等优点, 已广泛应用于超精密车削的微量进给中。但是电致伸缩元件也有一些不利的方面, 这就是伸缩量与激励电压是非线性的, 作用力不仅影响伸缩量也改变其线性度。在机械零件的加工中, 力对电致伸缩材料构成的微位移驱动器的影响是不可避免的。 外电场还可以引起另一种类型的应变，其大小与场强成比例，当外电场反向时应变正负亦反号。这就是压电效应的逆效应，不是电致伸缩。利用这种特性得到的驱动器为压电陶瓷驱动器。 压电陶瓷驱动器因具有位移分辨率高、结构简单、发热小、体积小、刚度高、响应速度快、不受磁场干扰、无磨损、不许润滑等优点被广泛的应用于微定位系统中，但其也有位移伸长量小、不能承受拉力和扭力，有迟滞非线性和蠕变等缺点。 一般地，电致伸缩所引起的应变比压电体的逆压电效应小几个数量级。近年来，随着布里渊散射、次级光电效应的研究、激