微型阀与微型泵的原理与应用.doc

微型阀和微型泵的原理与应用 摘要,本文通过对其工作过程的具体描述,指出微型机械技术的出现将引起一场划时代的革命。 另外,文中还介绍了微型阀和微型泵的结构、原理与应用。关键词,微型阀、微型泵、微型流量系统、微型机械。 二、微型阀 微型阀大多由激励源、活门和阀座三部分组成,有无激励源阀和记忆合金阀的报道,有的阀还采 用两种激励源。 一、前言 微型机械是.世纪/.年代出现的一种新型机械装置,其零件的尺寸可以微米01. 一 234甚至纳 米01.一%34计。近年来,作为它的一个分支微型阀和微型泵有了长足的发展,一些成果开始小批量 生产。首例微型阀的报道出现在15/2年,随后涌现出大量有关微型阀和微型泵的研究成果,如果按激励方式分类,可将它们分为无激励源、压电式 、 热激励式、静电式和电磁式等类别。将微型阀、微型泵与硅流量传感器等器件集成在一起,已制成微型流体控制、化学分析和反应器等微型系统装置。微型阀和微型泵的加工普遍采用集成电路、超微机械加工等工艺,并开始利用扫描遂道显微镜0674、原子力显微镜08974进行器件的表面加工。 中国代理一中国航空工业供销总公司瑞士:;;压才传感器、交送器,压力传感器 1、系列为价格低廉的塑料封装=;7产品、系列5、1.为金属充硅油带膜片=;7产品,适用于测试液体介质,可用于强腐蚀性、防爆等场合,、此外,:;;公司还提供与之相配的放大电路、压力变送器1、系列1产品以瑞士原装产品的质量和性能被售以适于中国市场的优惠价格。、通用型的系列?产品有绝压、表压、差压,可用于防爆、耐强腐蚀、耐高温等各种特殊场合 系列2、Α2为液位变送器Α、汉明童微压的系列Α1。 各类数字显示器智能数字压力表、智能压力校准仪可以通过计算机进行控制、编程,并可用电池供电。量程范围,#ΒΧΔΕ==.ΒΧΔ精度,.Φ1Φ.Φ可选 标准工作温度,一1.℃/.℃ 最大工作温度,一!.1.51、无激励源阀 无源阀可分为悬臂梁单向阀和双扇门型阀两 种。图Χ是一种悬臂梁单向阀的结构,它由一块只 型Ι)和一块型Ι)组成,型硅片上制作有作为 活门的悬臂梁和阀腔座,型硅片作为带出入口的 上盖与型硅片一起形成阀体。这种阀的工作原理 是,当液体或气体的正向压力进入左阀口后,悬臂 梁受到压力向 一 下弯曲使流体从右阀口流出,阀呈打 开状态。如果流体从右阀口流入,将使悬臂梁向上 弯曲,直至关闭左阀口,阀呈关闭状态。该阀的加 工采用电化学选择掺杂、:=Κ蚀刻和各向异性深 蚀刻0;ΛΜ4等工艺,最后将整块芯片切割成单个 阀体。每个阀悬臂梁的尺寸为2.协3Ν.卜3 1.林3 ,在一块 Α33Ν Α33芯片上可获得/.. 个阀。这种阀的主要特点是响应快、尺寸小、死区 体积小并可批量生产Ο1 。 图Β是一种双扇门型微型阀,它将两个大小相 同的扇门以相反方向形成在硅片上,每扇门的两片 扇叶与硅片表面成Α ΓΑ. ,扇叶之间的缝隙呈常 一喇翻减皿习翔像乡ΠΠΠ、缝 。型 图!图!# 出气口 濒 图!图!% 出口 图!图 开状态,缝宽(林)。这种阀的工作原理是,当正 向压力作用到膜片上后,使其上的两扇门以不同方 式变形。左侧门缝中间张开则右侧门缝闭得更紧, 左门呈打开状态,右门呈关闭状态如果改变压力 作用方向,情形会相反。该阀的加工采用硼离子扩 散、各向异性蚀刻、阳极焊接和除去氧化层等工艺, 阀扇门的尺寸为+,林).!,/林).0林)。它的主要 特点是工艺简单 、可批量生产,适用于控制介质粒 径为(林)以内的流体系统1(2。 (、压电激励阀 压力阀可分为常闭、常开和三通等形式。图3 是一种常闭式压电阀的结构,它由耐热玻璃底座、 呈台面结构的可挠性膜片、通气管和压电激励器等 部分组成。这种阀的工作原理是,在正常情况下硅 台面与出气口相连呈关闭状态4给激励器通电后, 使膜片发生凹变,台面离开出气口,阀呈打开状态。 该阀的加工采用各向异性蚀刻硅、各向同性蚀刻玻 璃和放电打孔等工艺。阀台面的面积为林),562。 图!%是一种常开阀的结构,与常闭阀不同之 处在于,可挠性硅膜片上的台面距出气口之间在正 常情况下有一个间隙,可供流体通过,当压电激励 器通电使台面向上凸变时,出气口被切断,阀处于 关闭状态。 图!是一种三通阀的结构,它的硅膜片上有中 心和环形两个台面。 中心台面呈常开状态,环形台 面呈常闭状态。这种阀的工作原理是,在正常情况 下流体可从右阀口输入中阀口输出。当给压电激励 器通电后,中心台面上凸,环形台面下凹,流体可 从左阀口流入中阀口流出172。 6、热激励阀 热激励阀通常由激励器8加热元件9、 变形梁 或膜片和阀体等部分组成。利用双金属形变、热膨 胀和热传导等原理。图!是一种利用双金属片原理 制成的热电阀,它由双晶悬臂梁、凸形膜片和阀体 等部分组成。双晶悬臂梁是一个由:型;