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大约7,143,000个;;;经预冷盘管后冷却
为16.6oC RH 100%;;17;;乱流式洁净室;垂直层流式洁净室;水平层流式洁净室;混流式洁净室;23;FFU系统;循环空调箱风管系统;轴流风机系统;Items ;人体静电消除器;黄光区;避震基座1
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