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CCD技术在光散射法测量微粒直径分布中的应用 第20卷第3期 1993丰6月 光电工程 0pro.ElectronicEn~inee V01.20.NO.3 June.,1993 CCD技术在光散射法 1测量微粒直径分布中的应用 乙// 毛义张以谟李贺桥 (天津大学精密仪器工程系,天津,300072) 抽耍本文提出了以线阵CCD光电探测阵列作为接收器.并以悬浮法测量固体 粉柬或混浊液中悬浮粒子大小及分布的激光拉度韫的设计方案J设计了径向散射 光强分布的多周期间隔采样的CCD数据采集系统.使用研制的样机完成了多项实 验,藏得满意的结果. 主题调垫鏖坌堑墼?墼鏖坌主,光强分布,墨,CCD~L ApplicationResearchofCCDchnologyin MeasuringParticleSizeDistributionby MeansofLightScattering MaoYi,ZhangYil410,LiHeqia0 (DepartmentofPrecision血IⅢ】ent皿】gfi~eering TianjinUulversi.Timh13oooz2) AbstractThedesignschemeoflaserparticlesizerwhosereceiverislinea~CCDdetector arrayisPrOposed.Theinstrumentisappfiedtomeasuringtheparticlesizedlstributlonof sotidpowderorliquidsuspension.TheCCDacquisitingsystembasedOilmultiperiodic intervalacquisitionisestablished+Fiilallymanyexperimentshavebeenfinkshedbynewly 毛义:男,l963年10月生.1984年毕业于天津大学光仪专业,1987年毕业于天津大学光仪专业{工 硕士】,1991年毕业于天津大学光仪专业(博士),讲师,从事光学信息处理,光电技术教学与科研. 张以谟:男,1933年2月生,1955年毕业于天津大学机械系,1958年毕业千该校精密仪器专业研究生 班.教授,博士指导教师.天津大学现代光学仪器研究所所长,中国光学学会理事,光电技术专业 委员会主任,从事光电技术和信息光学教学与科研.负责的光鲆工业内窥镜系列获国家教委科技 进步一等奖.DP-Ol型快建激光滴谱仪获国家教委科技进步二等奖t参加研辅成的内窥镜图象显 示仪获国家教委科技进步二等奖. 李贺桥:男,1942年12月生,1966年毕业于天津大学量仪专业.高级工程师,中国复印学会理事.从事 光学信息处理,复印拄术的教学与科研. 收稿日期:1992—10-20 1993年6月毛义等:CCD技术在光散射法测量微粒直径分布中的应用51 designedprototypeandtheresulLsaresarisfattory. SubjecttermsGrainsizeanalyzers,Particlesizedistribution,LightintensiLydisLri- bution,laserscattering,CCDarrays. 引言 固体粉末或混浊液中悬浮粒子大小及分布的测量广泛涉及化工,医药,建材,冶金轻 工和环境保护等愈来愈多的领域.仅在化工,医药行业,就有约60%的产品呈颗粒状.而 其中约10%产品的颗粒度直接或间接地影响产品的质量和性能,诸如化学反应速度和药 物效力等.此外,如水泥的性能,废气污染程度,金属颗粒的生产与烧结质量等都与相应 的粒径分布有联系.近年来.粒子测量技术得到了迅速发展,在众多的方法中,以光散射 法微粒测量技术最为突出[zl.这是因为它具有不干扰待测粒场,测量粒径范围宽和光电 响应时间短的优点.目前.国内各种先进的前向光散射粒度分析仪中.普遍采用同心环光 电探测器(—般有32个分立探测单元)检测散射功率谱.它的不足之处是分辨力不够高, 且只能获得径向环光能分布,不能得到精确的径向散射光强分布.这在使用独立模式分布 的解析测量方法上有较大局限性.此外,以往的光散射粒度分析仪大多基于夫琅和费衍射 模型.因此.在测量球形小粒子时存在误差.把CCD技术应用于光散射为测量基础的颗 粒粒度分析系统中,在国际上是近几年才发展起来的【2].鉴于CCD具有恒定的几何尺 寸与间隔及高的空间分辨力.因此完全适于粒子散射光场的快速测量与在线粒度检测. l激光粒度仪的测量原理 激光粒度仪是建立在球形粒子的夫琅和费衍射和米氏(Mie)散射理论基础之上的.测 量系统的原理结构如图l所示. 氦氖激光器l发出的激光束经扩束 器3后形成直径,8iron的