第4节 压电式力学量传感器.ppt

第4章 压电式力学量传感器 目录 4.1 压电式传感器的工作原理 4.2 压电材料 4.3 压电式传感器的等效电路 4.4 压电式传感器的信号调节电路 4.5 压电式加速度传感器 4.6 压电式测力传感器 电荷放大器 电荷放大器是压电式传感器另一种专用的前置放大器。它能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，而且输出电压正比于输入电荷，因此，电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达1010一1012Ω，输出阻抗小于100Ω． 使用电荷放大器突出的一个优点是，在一定条件下，传感器的灵敏度与电缆长度无关。 电荷放大器实际上是一个具有深度电容负反馈的高增益放大器 4.5 压电式加速度传感器 4.6 压电式测力传感器 本章小结 概念:压电效应 问题1:试说明压电陶瓷的敏感机理。 问题2:试说明石英晶体的压电机理。 问题3:试说明压电式加速度传感器基本工作原理。 问题4:试说明压电效应的特点。 优点(2)： 最为突出的是这种传感器能直接输出一个高电平、低阻抗的信号〔输出电压可达几伏)，它可以用普通的同轴电缆输出信号，一般不需要再附加放大器，只有在测量低电平振动时，才需要再放大，并可很容易直接输至示波器、带式记录器、检流计和其它普通的指示仪表。 另一个显著的优点是，由于采用石英晶片作压电元件，因此在很宽的温度范围内灵敏度十分稳定，而且经长期使用，性能也几乎不变。 图中k是放大器的开环增益，(一k)表示放大器的输出与输入反相，若放大器的开环增益足够高，则运算放大器的输入端a点的电位接近“地”电位。由于放大器的输入级采用了场效应晶体管，因此放大器的输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，电荷Q只对反馈电容Cf充电，充电电压接近等于放大器的输出电压，即:U0≈ucf=-Q/Cf 式中： U0一一放大器输出电压； ucf一反馈电容两端的电压。 压电式加速度传感器是一种常用的加速度计，占所有加速度传感器的80%以上。因其固有频率高，有较好的频率响应，如果配以电荷放大器，低频响应也很好。 另外，压电式传感器体积小，重量轻，缺点是要经常校正灵敏度。 压电加速度传感器结构形式主要有压缩型、剪切型和复合型等。 1 . 组成 压电元件一般由两片压电片组成。在压电片的两个表面上镀银层，并在银层上焊接输出引线，或在两个压电片之间夹一片金属，引线就焊接在金属片上，输出端的另一根引线直接与传感器基座相连。 在压电片上放置一个比重较大的质量块，然后用一硬弹簧或螺栓、螺帽对质量块预加载荷。 整个组件装在一个厚基座的金属壳体中。 2. 工作原理 将传感器基座与试件刚性固定在一起； 当传感器感受振动时，因质量块的质量相对被测物体的质量小得多，因此质量块感受与传感器基座相同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力的作用； 质量块有一正比于加速度的交变力作用在压电片上； 压电片的两个表面上产生交变电荷（电压）； 当振动频率远低于传感器的固有频率时，传感器的输出电荷与作用力成正比，亦即与试件的加速度成正比。 灵敏度 电荷灵敏度： 电压灵敏度： Ua=Q/Ca Sq=SvCa m d S 提高传感器的灵敏度方法: 增大m：会影响试件的振动；对高频响应也不利 增加压电片的数目 采用合理的连接 压电式加速度传感器，可以简化成由集中质量m、弹簧K和阻尼器C组成的二阶单自由度系统 式中：x——运动体的绝对位移； xm——质量块的绝对位移。 频率特性 输入量为加速度a，输出量为质量块与被测物间的相对位移xm-x，当作用于质量块上的力平衡时，其动力学方程为： 实际测量的振动频率上限一般只取传感器固有频率的1／5—1／3左右，也就是说工作在频率特性的平直段。 在这一范围内，传感器的灵敏度基本上不随频率而变化。 即使限制了它的测量频率范围，但由于传感器的固有频率相当高(一般可达30kHz甚至更高)，因此，它的测量频率的上限仍可高达几千赫兹，甚至十几千赫兹。 压电式加速度传感器的结构 压电元件的受力和变形常见的有厚度变形、长度变形、体积变形和厚度剪切变形四种。按以上四种变形方式也应当有相应的四种结构的传感器，但目前最常见的是基于厚度变形的压缩式和基于剪切变形的剪切式两种，前者使用更为普遍。 (a)为外圆配合压缩式。 它通过硬弹簧对压电元件施加预压力。 这种型式的传感器结构简单，而且灵敏度高，但对环境的影响(如声学噪声、基座应变、瞬时温度冲击等)比较敏感 1---基座 2 ---压电晶片 3 ---质量块 4 ---弹簧片 5 ---电缆 压缩式： (b)所示为中心配合压缩式。它具有外因配合压缩式的优点、并克服了对环境敏感的缺点。这是因为弹簧、质量块和压电元件用一根中心核牢固地固定在厚基座上，而不