七规范书释疑联络人.DOC

國家奈米元件實驗室 化學氣相沈積系統之氣體質量流量計及陶瓷Lift Pin耗材採購 招標規範書 目錄 頁次 一、 說明 3 二、 採購標的規範及數量 3 三、 投標需知 6 四、 履約期限 6 五、 驗收標準 6 六、 保固 6 七、 規範書釋疑聯絡人 6 說明 由於國家奈米元件實驗室之化學氣相沈積系統具備各種不同特殊氣體，其所使用之氣體質量流量計如遇故障，採購新品至少需本規範適用於國家奈米元件實驗室化學氣相沈積系統之各類氣體質量流量計及，以備可即時更換氣體質量流量計及陶瓷以持續提供穩定之高品質薄膜。 採購標的規範及數量 本案採購之標的包含化學氣相沈積系統使用之各種氣體質量流量計及陶瓷Lift-Pin耗材，其相關規格及數量如下： 質量流量計 (Mass Flow Controller, MFC) 以下各類氣體之質量流量計需為新品並檢附原廠證明氣體 流量(sccm) 數量(個) SiH4 50 1 SiH4 20 1 Si2H6 50 1 Si2H6 20 1 50 1 GeH4 20 1 H2 4000 1 氣體質量流量計規格： Repeatability ±0.2% of F.S.Resolution 0.1% of F.S. Temperature Coefficients Zero 0.05% of F.S./°C Span 0.08% of Rdg./°C Warm-up Time (to within 0.2% of F.S. of steady state performance) 2 min Controller Settling Time (per SEMI Guideline E17-91) 2 sec Normal Operating Temperature Range 0°C to 50°C Input Voltage Required Max. current at start-up (first 2 sec) ±15 VDC (±5%) @ 200 mA Typical current at steady state ±15 VDC (±5%) @ 100 mA Set Point Command Signal 0 to 5 VDC from 20K Ω Output Signal 0 to 5 VDC into 10K Ω Output Impedance 1 Ω Connector Type: Analog 9-pin Leak Integrity External (scc/sec He) 1 x 10-9 Through closed valve 1.0% of F.S. at 40 psig inlet to atmosphere Maximum Inlet Pressure: 150 psig Fittings (compatible with) SwagelokR 4 VCRR, Swagelok 4 VCOR, 1/4” Swagelok 質量流量計相關參考尺寸圖如下： 陶瓷Lift Pin (共1組) 作為晶片升降使用需為陶瓷材料，並可完成相容至非常高頻化學氣相沈積系統中之加熱器載具中，其相關尺寸規格如下： 投標需知 投標時，請檢送具有與本案招標標的（真空系統）類似之、供應承證明文件（如：訂購單、合約書或驗收等證明文件）。規格型錄 履約期限 得標廠商需於決標日起算0個日曆天（星期例假日、國定假日或其他休息日均計入）內完成所有交貨如逾期未能完成，自逾期日起算，得標廠商每日需按得標金額之千分之一罰款。 驗收標準 保固 自驗收合格之日起算，十二個月為保固期。 如保固期間臨時發生故障，一經業主通知，應即派員免費修護。 本工程之材料等若有任何損壞、滲漏或瑕疵，係由於施工不良所造成者，得標廠商應負一切整修或重建工料之責。因而導致業主或第三者權利受損時，亦由得標廠商負責賠償。 規範書釋疑聯絡人 投標廠商對本規範書有任何問題，請於招標釋疑期限內向本實驗室詢問。 黃文賢，分機03-5726100 ext.7523。 案號：頁 數 PAGE: 6 OF 7 購案名稱：化學氣相沈積系統之氣體質量流量計及陶瓷Lift Pin耗材採購 本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN