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第三章 传感器构成论 3.1 传感器的构成方法 3.2 传感器与被测对象的关联 3.3 传感器对信号的选择 3.4 传感器的传递矩阵 3.5 双向传感器统一理论 3.6 传感器敏感元件的加工新技术 3.7 传感器的性能指标 3.8 传感器的不失真测量条件 3.1 传感器的构成方法 3.1 传感器的构成方法 1、敏感元件:直接感受被测量,以确定的关系输出某一物 理量(包括电学量)。 2、转换元件:将敏感元件输出的非电量物理量转换为电学 量(包括电路参数量)。 3、转换电路:将电路参数(如电阻、电容、电感)量转换 成便于测量的电学量(如电压、电流、频率 等)。 3.1 传感器的构成方法 但有些传感器,三部分不一定齐全,如: 热电偶、差动变压式位移传感器 由1组成; 电容式位移传感器、压阻式传感器 由1、3组成; 压电式加速度传感器、差动变压式力传感器 由1、2组成; 电阻应变式力传感器 由1、2、3组成。 根据结构组成可将传感器按其构成方法分为以下几类: 1.通用型、2.参比型、3.差动型、4.反馈型。 每一类型,根据能量变换,一般都可分为: 能量变换型 能量控制型 3.1 传感器的构成方法 1.通用型 根据组成可分为:能量变换基本型、能量控制基本型、能量变换特殊型(辅助能源型)、电路参数型和多级变换型。 (1)能量变换基本型 3.1 传感器的构成方法 典型例子: 热电偶(塞贝克效应) 光电池(光生伏特效应) 压电式传感器 压电式超声波探头 特点: (1)只由敏感元件构成。 (2)不需外加电源,敏感元件就是能量变换元件,能量从被测对象 获得,输出能量较弱。 (3)利用热平衡现象或传输现象中的一次效应制成是可逆的。 (4)对被测对象有负荷效应(因输出逆效应而影响输入)。 (5)输出能量不可能大于被测对象的能量。 3.1 传感器的构成方法 (2)能量控制基本型 特点: (1)也由敏感元件组成,但需外加电源才能将被测非电量转换成电量 输出。 (2)输出能量可大于被测对象具有的能量。 (3)无需变换电路即可有较大的电量输出。 3.1 传感器的构成方法 (3)能量变换特殊型(辅助能源型) 特点: (1)只由敏感元件构成。 (2)能量从被测对象获得,属能量变换型。 (3)辅助能源是为了增加抗干扰能力或提高稳定性,或取出信号, 或为原理所需要而使用,既可以是电源,也可以是磁源。 如霍尔式传感器,使用固定磁场,这是利用磁铁来代替动力源, 这时不把磁铁看作动力源,而看作辅助能源。 3.1 传感器的构成方法 (4)电路参数型 特点: (1) 敏感元件对输入非电信号进行阻抗变换。 (2) 转换电路含有该敏感元件。 (3) 电源向转换电路提供能量从而输出电量,属于能量控制型。 (4) 输出能量远大于输入能量。 (5) 利用传输现象中的二次效应都属于此类传感器。 3.1 传感器的构成方法 (5)多级变换型 3.1 传感器的构成方法 3.1 传感器的构成方法 可利用的中间变换量:是指那些容易转换成电学量的物理量。 3.1 传感器的构成方法 2.参比补偿型 3.1 传感器的构成方法 特点: (1) 采用两个(或两个以上)性能完全相同的敏感元件。其 中一个感受被测量和环境量,另一个只感受环境量作补 偿用。 (2) 两个敏感元件同时接到电桥的相邻两臂或反串。 (3) 能消除环境和条件变化干扰的影响(如温度、电源电 压)。 3.1 传感器的构成方法 例:电阻式或压电式压力传感器中压力与温度变化对电阻、压电元件影响较近时,需用温度补偿片,构成参比型。 (一个为工作片,另一个为补偿片。) 3.1 传感器的构成方法 3.差动结构型 特点: (1) 采用两个(或两个以上)性能完全相同的敏感元件,同时感受相同的环境影响量和方向相反的被测量。 (2) 反串或接入电桥相邻的两臂。 (3) 输出信号提高一倍。 (4) 传感器差动结构以提高灵敏度、线性度,减小或消除环境因素的影响。 应用:差动电阻式、差动电容式、差动电感式。 3.1 传感器的构成方法 4.反馈型 特点: (1) 传感器的敏感元件(或转换元件)同时兼作反馈元
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