电气和电子测量技术——压电式传感器.pptVIP

压电式压力传感器 * 压电式传感器 压电效应 压电材料 压电传感器等效电路 压电传感器调理电路 压电式传感器的应用 * 压电式传感器 压电式传感器是一种有源的机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。 * 压电效应 某些晶体或多晶陶瓷，当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电状态；当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。上述现象称为正压电效应。 反之，如对晶体施加一定电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应。 * 压电材料 选用合适的压电材料是设计高性能传感器的关键。一般应考虑以下几个方面： ①转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数； ②机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高、机械刚度大。以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率； ③电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期望减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性； ④温度和湿度稳定性要好：具有较高的居里点、以期望得到宽的工作温度范围； ⑤时间稳定性：压电特性不随时间蜕变。 * 压电材料 常用压电材料可以分为三类： 压电晶体（石英晶体SiO2 ） 压电陶瓷（钛酸钡(BaTiO3)、锆钛酸铅(PZT)、铌镁酸铅（Pb [MgNb]O3 ） 高分子压电材料（如聚二氟乙烯(PVF2)和聚氯乙烯(PVC) * 石英晶体化学式为SiO2，是单晶体结构正六面体。 与晶体的纵轴线方向一致的z轴称为光轴；经过六面体棱线并垂直于光轴的x轴称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。 沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”， 而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。 石英晶体 * 石英晶体 (a) 不受力时 (b) x轴方向受力 (c) y轴方向受力 石英晶体压电模型 * 石英晶体 若从晶体上沿y方向切下一块如图所示的晶片，当沿电轴方向施加作用力Fx时，则在与电轴x垂直的平面上将产生电荷，其大小为： d11——x方向受力的压电系数。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为 d12——y轴方向受力的压电系数，根据石英晶体的对称性，有d12=-d11； a、b——晶体切片的长度和厚度。 电荷qx和qy的符号由受压力还是受拉力决定。 * 压电陶瓷 压电陶瓷在极化面上受到垂直于它的作用力时，则在两个极化面上分别出现正负电荷。电荷量的大小与外力成如下的正比关系： d33——压电陶瓷的压电系数 F——作用力 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。未经过极化处理的陶瓷材料不具有压电效应，极化处理后陶瓷材料所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致，具有很高的压电系数。 * 等效电路 压电式传感器的基本原理就是利用压电材料的压电效应这个特性，即当有力作用在压电材料上时，传感器就有电荷(或电压)输出 压电式传感器对被测量的变化是通过其压电元件产生电荷量的大小来反映的，因此它相当于一个电荷源。 压电元件电极表面聚集电荷时，它又相当于一个以压电材料为电介质的电容器，其电容量为： 式中 s--极板面积 εr--压电材料相对介电常数 ?0 --真空介电常数 δ--压电元件厚度 * 等效电路 当压电元件受外力作用时，两表面产生等量的正、负电荷Q，压电元件的开路电压(认为其负载电阻为无穷大)U为 这样，可以把压电元件等效为一个电压源U和一个电容器Ca串联的等效电路；同时也等效为一个电荷源Q和一个电容器Ca并联的等效电路。同时还需考虑压电传感器自身的泄漏电阻Ra。 (a) 电压源模型 (b) 电荷源模型 压电元件的等效电路 * 等效电路 当压电传感器接入测量仪器或测量电路后，必须需考虑连接电缆的寄生等效电容Cc，后续测量电路的输入电容Ci以及后续电路(如放大器)的输入电阻Ri。所以，实际压电传感器在测量系统中的等效电路如图所示。 * 【问题】根据