宏微定位台动力学模型构建与仿真分析.pptVIP

宏微定位平台动力学模型构建与仿真分析 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 目的：本课题为光刻机双工件台构造一维动力学模型（宏微两级驱动气浮工作台模型）并作仿真分析，以便为双工件台的控制技术做一些探索与改进。 意义：本课题的完成可以为双工件台的研制提供有用的参考。 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 并行双伺服控制方法 主-从控制设计方法 解耦控制设计方法 并行控制设计方法 PQ控制设计方法 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 ADAMS软件 实现气浮宏微平台的一维简单建模 Simulink软件 设计气浮宏微平台的控制系统，实现联合仿真 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 宏微系统动力学模型示意图 研究方案 气浮宏微定位平台的SolidWorks模型 气浮宏微定位平台的ADAMS模型 宏微定位平台的Simulink模型 宏微控制框图（采用并行双伺服） 宏动台伺服控制原理框图 微动台伺服控制原理框图 宏微系统控制框图 （1）熟练掌握ADAMS和Simulink软件的使用方法； （2）完成宏微定位平台机电一体化模型的建立； （3）设计一套比较优良的控制系统，达到气浮宏微定位平台的要求。 预期达到的目标 2010.03.01~2010.03.17 根据毕业设计任务要求，开展资料搜集和基本知识学习，完成开题报告工作； 2010.03.18~2010.04.15 完成气浮宏微定位平台ADAMS模型的建立； 2010.04.16~2010.05.15 实现控制系统的设计； 2010.05.16~2010.05.31 得出仿真结果并分析，改进控制系统模型； 2010.06.01~2010.07.02 整理文档，撰写论文，准备答辩。 进度安排 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 PC机（ADAMS、Simulink软件） 一台 气浮宏微定位实验平台 一台 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 困难问题： （1）本课题涉及控制系统设计方面的专业知识，以前所学明显不够； （2）实际经验不足，很难能建立出比较符合实际情况的模型； （3）本课题所用的ADAMS软件用户群较小，资料很少，不便于深入学习。 解决措施： （1）多看书，多看前人的论文，多和指导老师、师兄交流； （2）多思考、做任务有耐心。