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第六章 超声加工 山东大学机械工程学院 张建华 第一节 超声加工的机理和特点 一、超声加工的机理 超声加工是利用工具端面作超声频振动，通过磨料悬浮液加工脆性材料的一种成型加工方法。 超声波发生器产生1.6万赫兹以上高频交流电源，输送给超声换能器，产生超声频机械振动，并借助变幅杆将振幅放大到0.05～0.1mm左右，使变幅杆下端的工具产生强烈振动。含有水与磨料的悬浮液由工具带动也产生强烈振动冲击工件表面。加工时，工具以很小的力轻压在工件上，工件表面受到磨料以很大速度和加速度的不断撞击，被粉碎成很细的微粒，从工件表面上脱落下来。 虽然每次打击下来的材料体积很小，但由于每秒钟打击的次数多达1.6万次以上，所以仍有一定的加工速度。循环流动的悬浮液带走脱落下来的微粒，并使磨料不断更新，同时，悬浮液受工具端部的超声振动作用而产生液压冲击和空化现象，也加速了工件表面被机械破坏的效果。工具连续进给，加工过程持续进行，工具的形状便“复制”在工件上，直到达到要求的尺寸和形状。 空化作用是指当工具端面以很大的加速度离开工件表面时，加工间隙内形成负压和局部真空，在工作液体内形成很多微小空腔，促使工作液钻入被加工工件表面材料的微裂纹处。当工具端面以很大的加速度接近工件表面时，微小空腔闭合，引起极强的液压冲击波，加速了磨料对工件表面的破碎作用。 超声波加工过程是磨料在超声振动作用下的机械撞击和抛磨作用与超声波空化作用的综合结果，其中磨粒的撞击作用是主要的。 因此，超声加工特别适合加工硬脆材料，而工具材料一般选用韧性材料，例如45钢、65Mn 、40Cr。 二、 超声加工的特点： 特别适合加工各种硬脆材料，尤其是电火花加工等方法无法加工的不导电非金属材料，例如玻璃、陶瓷、宝石、半导体等。 加工精度较高，加工表面质量较好。尺寸精度可达0.01～0.02mm，表面粗糙度Ra可达0.63～0.08μm，加工面无组织改变、残余应力及烧伤等现象。 工件在加工过程中受力较小，适合加工薄壁、窄缝等低刚度工件。 加工工件的形状与工具形状一致，只要将工具做成一定的形状和尺寸，就可以加工出各种复杂形状的型孔、型腔、成形表面，不需要使工具和工件作较复杂的相对运动。因此，超声波加工机床结构比较简单，操作维修方便。 与电火花加工和电解加工相比，超声加工导电的硬质金属材料的效率较低。 二、 超声加工的特点： 第二节??????? 超声波加工的设备及构成 目前使用的超声波发生器功率为20-4000W。它由振荡级、电压放大级、功率放大级、电源四部分组成。 振荡级由三级管连接成电感反馈振荡电路，调节电路中的电容器可以改变输出频率。振荡级输出经藕合至电压放大级放大，控制电压放大级的增益可以改变超声波发生器输出功率。放大后的信号经变压器倒相送到末级功率放大管。功率级常用多管并联推挽输出，经输出变压器输出至超声波换能器。 二、 超声振动系统 超声振动系统的作用是将高频振荡电能转变为机械振荡能。它主要包括超声换能器、变幅杆及工具三个部分： 1、?? 超声换能器 超声波发生器，是将高频电能（16kHz以上的交流电）转变为高频率的机械振荡（超声波），为了实现这种转换，目前有压电效应与磁致伸缩效应两种方法可利用。 （1）压电效应超声波换能器 石英晶体、钛酸钡(BaTiO3)等物质在受到机械压缩或拉伸变形时，在其两对面上将产生电压，反之在它们两对面上加一定的电压，则产生机械变形，这一现象叫“压电效应”，若在它们两面加上16kHz的高频交流电压，该物质将发生16kHz的高频伸缩变形，使周围的介质作超声波振动。为了获得最大的超声波强度，应使晶体处于共振状态，故晶体片厚度应为声波半波长或整数倍。 需要指出的是：石英晶体的压电效应较弱,3000V电压才产生小于0.01μm的变形，而钛酸钡（BaTiO3）的逆压电效应（伸缩量）为石英的20～30倍，但其效率及机械强度太差。锆钛酸铅（ZrPbTiO3）则具有以上两者的优点，故应用较多。与金属磁致伸缩器相比，压电材料来源广、价格低，但机械强度、效率低，易老化，故目前多用于超声波清洗、探测和小功率超声波加工换能器。 （2）磁致伸缩效应超声波换能器 铁、钴、镍及其合金的长度能随着所处的磁场强度变化，产生伸长或缩短的变形现象称为磁致伸缩效应。其中镍在强磁场作用下，其长度可缩短0.004℅；钛和钴则在磁场中为伸长，当磁场消失时它们又恢复原有尺寸。这种材料棒杆在交变磁场中其长度将交变伸缩，其端面将产生振动。