第05章_电容式传感器.pptVIP

特点： 脉冲宽度调制电路对传感器元件的线性要求不高，不论是极距变化型或面积变化型，其输出都与输入变化量成线性关系； 不需要调解电路，只要经过低通滤波器就可以得到直流输出； 调宽脉冲频率的变化对输出无影响； 由于都采用直流稳压电源供电，不存在对波形及频率的要求。 航空与机械工程学院 第四章 电感式传感器 航空与机械工程学院 第五章 电容式传感器 第五章 电容式传感器 各种电容式传感器 电容式接近开关 电容式指纹传感器 电容式变送器 差压传感器 ? 以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。 电容式位移传感器的位移测量范围在1um—10mm之间，变极距式电容传感器的测量精度约为2%。变面积式电容传感器的测量精度较高，其分辨率可达0.3um。 5.1 电容式传感器的工作原理及特性 5.1.1 基本工作原理 S ——极板的遮盖面积，单位为m2； ε ——极板间介质的介电系数； δ——两平行极板间的距离，单位为m； ε0 ——真空的介电常数，ε0 =8.854×10-12 F/m； εr ——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，εr ≈1。 5.1.2 电容式传感器的类型和特性 1. 变极距型电容传感器 图5-1 变极距型电容传感器 图5-2 C-δ特性曲线 设动片未移动时极板间距为δ0 初始电容量为：