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低温等离子体消毒灭菌设备电源研究与设计 　　【摘要】低温等离子消毒技术因其具有快捷、安全和高效率等优点受到国内外广泛研究，而等离子体的电源在很大程度上又影响着等离子体发生器的性能。针对等离子体高压电源的特殊要求，本文将SPWM脉宽调制技术应用到等离子体发生器电源的设计中，研制了一款原理简单、控制和调节性能好，具有消除谐波、调节和稳定输出电压等诸多特点的单相输出电压可调、频率连续可调的新型等离子体高压电源。 　　【关键词】低温等离子体；SPWM脉宽调制；逆变电路 　　 　　1.引言 　　将等离子体技术用于消毒灭菌技术上具有极高的潜在应用价值。因而要求等离子体发生器具有体积小，重量轻，易于控制和高可靠性的特点。作为等离子体发生器中一个重要的组成部分——等离子体高压电源则起到关键作用。它的性能在很大程度上影响等离子体发生器的性能。传统的高压??源因体积和重量都大，且性能不好，满足不了实际应用的需要。随着电力电子技术和开关器件的发展，高压逆变电源的高频化及脉宽调制波形改善技术使得高压电源的性能成倍提高，体积成倍减小，应用范围越来越广。针对等离子体高压电源的特殊要求，本文将SPWM脉宽调制技术用于该电源设计中，使它具有原理简单、控制和调节性能好，具有消除谐波、调节和稳定输出电压等诸多特点，研制了一台单相输出电压可调、频率连续可调的等离子体高压电源。 　　2.等离子体电源的结构与原理 　　在低温等离子体电源中，系统总体电路结构主要由主电路和控制电路两部分组成，其总体电路结构方案见图1。其中，主电路由工频单相半控整流滤波电路、直流斩波电路、SPWM控制的DC/AC高频逆变电路、LC滤波电路及高频升压电路组成。控制电路由SPWM产生的电路、隔离驱动电路、基准正弦波电路、频率调节电路、过流保护电路、过压保护电路以及相应的显示电路组成。 　　在系统主电路中，单相交流电经低频半控桥式整流之后进行大电容滤波，得到较平滑的且电压大小可调的直流输出电压，经H桥电压型逆变电路以及低通滤波器，转换成脉冲电压并通过功率变压器提升电压值，从而最终得到50kHz的高频正弦波。 　　3.等离子体电源的研究与设计 　　3.1 工频整流滤波电路的研究设计 　　在常规的开关稳压电源中，通常是对交流220V市电直接不可控整流滤波从而得到电压不可调的直流电压。本设计根据等离子体电源需要输出电压可调的要求，选择了由晶闸管构成的通过改变a触发角来改变输出电压的大小的单相桥式可控整流电路。而在实际应用中遇到较多的等离子体消毒灭菌设备大多是电感性负载，即含有电感，又含有电阻。这里电感性负载采用串联的电感元件L和电阻元件R来表示，电路如图2(a)所示。电路中由于电感性元件的存在，电流i0不能发生跃变，在电源电压U2的正半周，V1、V4承受正向电压，当ωt=α时，控制极加上触发脉冲UG，令晶闸管V1触发导通，续流二极管V5承受反向电压而截止。电流流经V1、L、R、V4，输出电压U0=U2。 　　晶闸管刚触发导通时，由于电感元件产生阻碍电流变化的感应电动势，电路中的电流不能跃变，将由零逐渐上升。当电流到达最大值时，感应电动势为零，而后电流随U2沿正半周减小，电感感应电势改变极性，和U2相同。由于是大电感负载，所以负载电流i0连续并近似为一直线，这时V2和V3因承受反向电压而处于阻断状态。在u2过π进入负半周时，V3承受正向电压而导通，V4承受反向电压而截止。为避免失控现象，在负载两端并联一个续流二极管V5。电路的工作波形如图2（b）所示。 　　参照电路工作波形图，可计算推导出如下数量关系： 　　其次，由于本设计中电源是要产生小负载电流的高频高压电源，故采用电容滤波为宜。 　　3.2 脉宽调制（SPWM）型逆变电路的研究设计 　　逆变器是将直流变为定频定压或调频调压交流电的变换器，传统方法是利用晶闸管组成的方波逆变电路来实现，电路如图3所示。当S1、S4闭合，S2、S3断开，输出U0为正，反之，当S1、S4断开，S2、S3闭合，输出为负，这样就把直流电变成交流电。若改变两组开关的切换频率，可改变输出交流电的频率。当负载呈电阻性时，电流和电压的波形相同；负载呈电感性时，电流和电压的波形不相同，电流滞后电压一定角度。 　　在实际中由于电压型逆变电路使用器件较少，结构简单而得到广泛的应用，电路如图4所示。在阻感负载RL的条件下，0≤θ≤ωt期间，VT1和VT4有驱动信号，电流i0为负值，VT1和VT4不导通，D1、D4导通起负载电流续流作用，U0=+ Ud。θ≤ωt≤π期间，i0为正值，VT1和VT4才导通。π≤ωt≤π+θ期间，T2和T3有驱动信号，由于电流i0为负值，T2、T3不导通，D2、D3导通起负载电流续流作用，U0=- Ud。π+θ≤ωt≤2π期间，