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SEM原理学习报告;目录;一、SEM概述与发展趋势;S-4700扫描电镜实物图;;二、电子束与固体样品的相互作用 ;1nm;;;随着原子序数的增加，核外电子增加，入射电子发生弹性碰撞的可能性增加，反射电子增加。在BEI图像上相对原子序数高的地方就亮，相对低的地方就暗。;3、特征X射线 特征X射线是原子的内层电子受到激发以后在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。一般在试样的500nm-5um深处发出。因此可以加装EDS—能谱仪附件，侦测特征X射线对样品进行元素成分分析。一般从硼(B)-铀(Ｕ)，而氢和氦原子只有K层电子（通常用K、L、M、N …表示主量数 n =1、2、3、4…壳层的能级），不能产生特征X射线。氢氦不能产生特征X射线的原因：当高速电子轰击靶原子，将原子内层电子电离，内层产生一个电子的空位，外层电子跃迁到内层空位所发出的电磁辐射谱线-X射线。简单的说就是氢氦只有一层（K层）核外电子，就算K层的电子电离产生空位，也没有外层电子跃迁到k层。;4、俄歇电子 原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量不足以X射线的形式释放而是用该能量将核外另一电子打出，脱离原子变为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子。因每一种原子都由自己特定的壳层能量，所以它们的俄歇电子能量也各有特征值，能量在50-1500eV范围内。俄歇电子是由试样表面极有限的几个原子层中发出的，所以俄歇电子信号适用与表层化学成分分析。 ;三、扫描电子显微镜的基本原理和结构 ; 工作原理：电子枪发出的电子束经栅极静电聚焦后成为直径为50mm的电光源。在0.2-40KV的加速电压下，经过2-3个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成孔径角较小，束斑为5-10m m的电子束，并在试样表面聚焦。末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下，电子束在试样表面扫描。高能电子束与样品物质相互作用产生二次电子，背反射电子，X射线等信号。这些信号分别被不同的接收器接收，经放大后用来调制荧光屏的亮度。扫描线圈用来偏折电子束，使其在样品表面作二度空间（X、Y方向）扫描，由于经过扫描线圈上的电流与显象管（CRT）相应偏转线圈上的电流同步，因此，试样表面任意点发射的信号与显象管荧光屏上相应的亮点一一对应。也就是说，电子束打到试样上一点时，在荧光屏上就有一亮点与之对应，其亮度与激发后的电子能量成正比。换言之，扫描电镜是采用逐点成像的图像分解法进行的。光点成像的顺序是从左上方开始到右下方，直到最後一行右下方的像元扫描完毕就算完成一帧图像。这种扫描方式叫做光栅扫描。 扫描电镜由电子光学系统，信号收集及显示系统，真空系统及电源系统组成。 1、电子光学系统 电子光学系统由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为产生物理信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。;光学结构图; SEM电子枪：是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束；目的是提供直径小、亮度高、电流稳定的电子束。 按发射模式可分为：热游离和场发射两种。;场发射型电子枪 发射机理：当在真空中的金属表面受到108V/cm大小的电子加速场时，高电场使电子到表面的势垒高度降低，电子可以直接“穿遂”通过降低后的势垒离开阴极。 灯丝特点：与常见的传统三极电子枪一样都是采用钨丝作为灯丝，因为在电场下钨丝因为其高强 度的特点，能够承受高电场所产生的高机械应力。 灯丝尖端非常尖锐，因此可以得到极细且具有高电流密度的电子束。;需要进行flashing。 flashing目的：如果灯丝针尖上被外来气体吸附，会降低场发射电流，并使发射电流不稳定，虽然冷场发射式电子枪工作在10-10torr真空下，也难免被外来气体原子所吸附，因此需要定时短暂加热针尖之2500k，去除吸附原子。 （2）热场式电子枪 优点：工作在1800k的温度下，不需要flashing； 能够维持较佳的发射电流稳定性，能够在较差的真空下工作。 亮度与冷场式差不多。 缺点：电子能量分布比冷场式大3-5倍，影像解析度差。 （3）肖特基发射式电子枪 它是在钨单晶上镀ZrO（氧化锆）覆盖层，ZrO可以将钨丝的功函数由4.5eV降到2.5e