毕业设计(论文)开题报告 静电梳状驱动器的设计与建模.docVIP

昆明理工大学毕业设计（论文） 开 题 报 告 题 目： 静电梳状驱动器的设计与建模 学 院： 理学院 专 业： 电子信息科学与技术 学生姓名： 指导教师： 日 期： 2007年3月  毕业设计（论文）的主要内容：MEMS简介，MEMS工艺简介，表面加工的介绍，MUMPs工艺介绍，EDA工具的使用， ANSYS软件的建模与仿真 静电梳状结构作为驱动部件或检测部件，已在微机电系统特别是在表面微机械器件中得到广泛的应用，如谐振器、微夹持器、微振动电动机等等。在微机械领域已经成为静电驱动的首选结构。这种微驱动器是目前MOEMS中使用最广泛的一种驱动器 ,可用于驱动可移动微镜 、微扫描器等。[1] LauKY．MEMs the Word for Optical Beam Manipulation [J1．IEEE CircuitsDevices，1997, (