传感器与检测技术第03章电容式传感器 32页.ppt

* * 第3章 电容式传感器 电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种传感器。 它具有结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、适应性强、抗 过载能力大及价格低廉等优点。因此，可以用来测量压力、力、 位移、振动、液位等参数。但电容式传感器的泄漏电阻和非线性 等缺点也给它的应用带来一定的局限。随着电子技术的不断发展， 特别是集成电路的广泛应用，这些缺点也得到了一定的克服，进 一步促进了电容式传感器的广泛应用。 3.1 电容式传感器的基本原理及性能特点 电容式传感器的基本工作原理可以用图3.1.1所示的平板电容器来说明。设两极板相互覆盖的有效面积为A（m2），两极板间的距离为d（m），极板间介质的介电常数为?（F·m-1），在忽略板极边缘影响的条件下，平板电容器的电容量C（F）为 C=?A/d （3-1-1） 由式（3-1）可以看出，?，A，d三个参数都直接影响着电容量C的大小。如果保持其中两个参数不变，而使另外一个参数改变，则电容量就将发生变化。如果变化的参数与被测量之间存在一定函数关系，那被测量的变化就可以直接由电容量的变化反映出来。所以电容式传感器可以分为三种类型：改变极板面积的变面积式；改变极板距离的变间隙式；改变介电常数的变介电常数式。 3.1.1 变面积式电容传感器 图3.1.2是一直线位移型电容式传感器的示意图。 当动极板移动△x后，覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值为 C=?b（a-△x）/d=C0-?b·△x/d （3-1-2） 电容因位移而产生的变化量为 其灵敏度为 可见增加b或减小d均可提高传感器的灵敏度。 图3.1.3是此类传感器的几种派生形式。图3.1.3a是角位移型电容式传感器。当动片有一角位移时，两极板间覆盖面积就发生变化，从而导致电容量的变化，此时电容值为 (3-1-3) 图3.1.3b中极板采用了锯齿板，其目的是为了增加遮盖面积，提高灵敏度。当齿板极板的齿数为n，移动△x后，其电容量为 (3-1-4) 其灵敏度为 由前面的分析可得出结论，变面积式电容传感器的灵敏度为常数，即输出与输入呈线形关系。 3.1.2 变间隙式电容传感器 图3.1.4为变间隙式电容传感器的原理图。图中1为固定极板，2为与被测对象相连的活动极板。当活动极板因被测参数的改变而引起移动时，两极板间的距离d发生变化，从而改变了两极板之间的电容量C。 设极板面积为A，其静态电容量为 ，当活动极板移动x后，其电容量为 (3-1-5) 当x＜＜d时 则 (3-1-6) 由式（3-5）可以看出电容量C与x不是线性关系，只有当 x＜＜d时，才可认为是最近似线形关系。同时还可以看出，要提高灵敏度，应减小起始间隙d过小时。但当d过小时，又容易引起击穿，同时加工精度要求也高了。为此,一般是在极板间放置云母、塑料膜等介电常数高的物质来改善这种情况。在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性，可采用差动式结构。 3.1.3 变介电常数式电容传感器 当电容式传感器中的电介质改变时，其介电常数变化，从而引起了电容量发生变化。此类传感器的结构形式有很多多种，图3.1.5为介质面积变化的电容式传感器。这种传感器可用来测量物位或液位，也可测量位移。 由图中可以看出，此时传感器的电容量为 ；其中： 设极板间无ε2介质时的电容量为： ；当ε2介质插入两极板间则有： (3-1-7) 式（3-7）表明，电容量C与位移x呈线性关系。 3.2 电容式传感器的常用测量电路 用于电容式传感器的测量电路很多,常见的电路有:普通交流电桥、紧耦合电感臂电桥、变压器电桥、双T电桥电路、运算放大器测量电路、脉冲调制电路、调频电路。在此主要介绍后四种电路。 3.2.1