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南京理工大学机械工程学院 二00六年 * 传感器原理与应用 传感器原理及应用之十三讲 电感式传感器之二 5.3电涡流式传感器 电涡流式传感器是基于电涡流效应工作的。 特点:结构简单、灵敏度高、频率响应范围宽、抗干扰能力强、不受油污等介质的影响、能实现非接触测量。 电涡流:是金属导体中的磁通发生变化时，在导体中就会产生感应电流，此电流在导体中自行闭合，称它为电涡流。电涡流的产生要消耗一部分磁场能量，从而使产生磁场的线圈阻抗发生变化，电涡流式传感器就是利用这种效应制成的。 5.3.1 感应电涡流位移传感器的工作原理 从结构上讲，感应电涡流传感器是一个绕在硬塑料框架上的扁平线圈实际上就是一个电感线圈。在传感器工作的时候，传感器的线圈里通有高频电流,在线圈的周围空间就会产生交变的高频磁场，如果有一块和线圈的中心线垂直的金属板接近传感器，线圈将产生以下一些物理现场。 1.在平板上产生电涡流 当金属平板置于交变的磁场中或在磁场中运动时，金属板内就要产生感应电流，这种电流在金属体内是自己闭合的环状电流，称之为涡流。涡流回路是以线圈为中心线的圆心的同心圆。 2.电涡流产生一个电磁场 电涡流产生一个电磁场，作用于传感器的线圈上，由楞次定律，这个磁场的特点是它将反抗原来磁场的变化，总的平均效应是使空间的磁场受到削弱。 （电涡流产生的磁通的方向与原来线圈的磁通方向相反） 3.电涡流有热效应 电涡流在金属板中流动，回路呈现一定的电阻，因此要产生焦耳—楞次热，要消耗一部分能量。 4.对铁磁材料要磁化，产生附加的磁场 若金属平板是由磁性材料做成的，在线圈磁场的作用下，金属板将被磁化，产生一个附加磁场又增强了线圈中的磁场。 5.铁磁材料由于存在磁滞损耗，要发热 金属板是磁性材料，交变的高频磁场使它反复磁化，由于磁性材料的磁滞特性，反复磁化要消耗能量,也就是存在磁滞损耗。 在实际工作中，经常使用铝板，因此现象4、5就不存在了。 5.3.2 物理模型 ◆将线圈和金属板看成是一个空心变压器 ◆传感器线圈→初级 ◆金属板→次级 ◆由于存在热效应，金属板具有电感L和电阻r; ◆两线圈间有互感M，M与两线圈之间的距离有关。 设初级线圈中有电流i1，由于互感作用，次级回路中有电流i2。 由回路电压定律(沿回路所升高的电位必等于沿此回路所降低的电位）。 取拉氏变换，然后令 中 : （1） （2） 由（2）求出 代入（1） 则有线圈中有效阻抗 实部 虚部 电阻分量 线圈本身电阻 涡流热效应产生的电阻 虚部 : 感抗分量 本身电感 电涡流效应造成的 由此可知:等效阻抗 中，电阻分量 和等效电感 的表示式中都包含有互感M这个量，而M和线圈与金属板之间的距离有关，金属板的材料有关。 5.3.3影响传感器性能的因素 1.线圈结构的影响 希望灵敏度高，线性范围大，对电涡流式传感器，灵敏度和线性范围受线圈产生的磁场分布情况影响。要使线性范围增大则线圈的磁场轴向分布范围要大，要使灵敏度越高，则需被测导体向轴向移动时，磁场强度变化梯度越大。 经过大量分析：线圈薄时，灵敏度高。 线圈外径大时，传感器线性范围大，线性范围增大，但灵敏度降低。 传感器的线性范围一般为线圈外径的1/3~1/5。 2.被测体的材料、尺寸、形状对灵敏度的影响 电涡流式传感器是利用线圈与被测金属导体之间的磁性耦合程度的变化进行的。所以传感器的线圈仅为传感器的一半，另一半则是被测物体，被测物体的物理性质、几何形状及尺寸都会影响灵敏度的测量结果。 ★ 一般： 被测物体电导率越高→则灵敏度越高。 被测物体磁导率越高→则灵敏度越低。 ★被测物体的平板半径应大于线圈半径的1.8倍，否则不能全部利用所能产生的电涡流效应，致使灵敏度降低。 5.3.4 测量电路 介绍一种用途较为广泛的阻抗分压调幅测量电路的工作原理。（实际上是测量的阻抗 的变化） 测量电路框图如下： 传感器与电容C并联，组成一个LC并联谐振电路。 谐振：在一定条件下，感抗和容抗消失，呈