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光纤加速度传感器研究进展 　　摘 要：阐述了光纤加速度传感器的基本原理，分析了近年来国内外基于光纤光学和光纤光栅所设计研究的新型加速度传感器，研究表明，波长调制型光纤加速度传感器具有更加广阔的应用前景。 　　关键词：光纤传感器 加速度计 光纤光栅 波长调制 　　中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1672-3791（2013）02（b）-0090-02 　　振动检测领域对高性能振动传感器的需求促进了加速度传感器的不断发展，从20世纪60年代末开始研究的微硅技术到80年代初新兴的光纤传感技术，人们提出了种类繁多的加速度传感器结构，而光纤加速度传感器相比于硅微电子式加速度传感器来说，高精度、不受电磁干扰、能在恶劣环境下工作和易于集成等优点受到了人们的特别关注。光纤加速度传感器可从基本原理上分为光纤光学式和光纤光栅式加速度传感器，光纤光学加速度传感器的调制方式可分为光弹效应型、光强型[1]、干涉型[2]等，光纤光栅加速度传感器可分为带宽调制型[3]和波长调制型[4～5]两种。 　　1 光纤光学加速度传感器 　　1.1 强度调制型 　　强度调制型加速度传感器是指通过调制光纤中传输光的强度从而达到测量加速度的目的，主要包含有透射式、反射式、偏振式等，其优点是结构较为简单、信号易于解调、成本相对低廉，缺点是精度不高。 　　（1）透射式光纤加速度传感器。 　　此类传感器的结构特点是利用光纤本身作为移动单元，加速度引起输出光纤振动导致耦合进入输出光纤的光量改变，从接收端检测到的光强即可反应出加速度值的大小。 　　（2）反射式光纤加速度传感器。 　　此类传感器在结构上与透射式的不同的地方在于多了一个反射镜，光纤与反射镜均可能作为运动元件。光纤轴线垂直于反射面安置的称为正镜式，光纤轴线不垂直于反射面安置的称为斜镜式。 　　（3）偏振式光纤加速度传感器。 　　这类传感器是利用光纤本身直接感知质量块的惯性而产生偏振态变化，从而导致输出光强的变化，藉此测量加速度。 　　Tihon Pierre等人于2012年提出的基于光纤双折射的四种机械换能结构，分别是对光纤产生弯曲、挤压、拉伸和扭转作用的U???铝梁。当偏振光从该结构的单模光纤一端输入时，加速度引起光纤的变形从而导致激光偏振态的改变。从另外一端输出的偏振光经过检偏器后通过光电二极管来检测，不同的加速度大小对应不同的偏振态，即不同的接收光强[1]。 　　1.2 相位调制型 　　相位调制型加速度传感器是指通过调制光纤中传输光的相位从而达到测量加速度的目的，主要包含有Michelson干涉式、Mach-Zehnder干涉式、F-P干涉式等，其优点是几何结构灵活多样，分辨率、灵敏度等性能指标都非常高，研究较为广泛。 　　（1）Michelson干涉式光纤加速度传感器。 　　F Peng等人于2012年设计了一种紧凑型的Michelson干涉型加速度计，利用了光纤本身的固有优势，使得传感器尺寸和重量都可以做的很小，重量块m用环氧树脂粘在了两根已经粘在一起的单模光纤的中间，光纤上下端和周围用金属管和固体框架固定住。加速度的变化将会引起作为干涉仪两臂的光纤光程差的变化，通过解调相位变化即可获得相应的加速度大小 ，这种加速度传感器的灵敏度和频率响应可以分别做到0.42 rad/g和600 Hz。 　　（2）M-Z干涉式光纤加速度传感器。 　　陈柳华等人于2010年提出了一种基于光栅±1级干涉和相位载波（PGC）调制解调的光学加速度传感方案，与传统的M-Z干涉仪不同，这种结构并不是靠M-Z其中的一个臂作为传感臂，而是以激光垂直入射的正弦振幅光栅作为传感元件。当在光栅平面内有垂直栅线方向的加速度作用在光栅上时，光栅产生相应位移，继而引起PD 端干涉相位差的改变。M-Z的其中一臂通过PZT生成载波以提高相位解调精度，实验得到的系统误差为[2]。 　　（3）F-P干涉式光纤加速度传感器。 　　QLin等人于2011年提出的一种高分辨率加速度传感器结构，单模光纤端面镀半反膜，既做发射光纤又做接收光纤，固定在V形槽上。光纤端面与固定在0.1 mm厚的不锈钢环状弹簧网中心0.8 mm厚的质量块上的硅微反射镜形成一个F-P谐振腔。在V形槽与光纤固定支架之间装有一个PZT，通过施加音频信号对腔长生成相位载波（PGC）调制，腔长的变化与光纤轴向方向的加速度大小成线性关系。该结构的灵敏度为36dB每1 rad/g，谐振频率为160 Hz，横向灵敏度-1.8dB每1 rad/g[3]。 　　2 光纤光栅加速度传感器 　　2.1 宽带调制型 　　宽带调制型的加速度传感器实际上也是对光栅波长的调制，不同的是对光栅进行啁啾调谐，通过检测带宽的变化以实现温度不敏感型加速度传感的目的