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微奈米製程與材料分析 電漿技術在產業的發展趨勢與應用 班級：自控四乙 姓名：粘輝豪 學號指導老師：吳忠春、莊承鑫、王聖璋 內容概述 電漿就是固態、液態以及氣態外，自然界稱為的第四態，是一個帶電的氣體團。 它的發展背景是從真空電漿變成大氣電漿。 真空電漿：操作複雜性高(Complicated handling)、真空設備昂貴(Expensive vacuum systemrequirements)、批次操作(Batch process) 大氣電漿：操作容易(Easy handling)、設備便宜(Cost reduction effect)、可大面積或連續式操作(Large area in-lineprocess) 以下兩種方式可以在大氣壓力下產生電漿，使用大電流來加熱電子與分子、使用高電場來加速電子，使之具有足夠之解離能量。 電漿表面改質(Plasma Surface Modification)由於電漿中具有高能量之粒子，如臭氧、過氧化物、自由基甚至自外線等，能將物體表面潔淨、改質以及調整表面能。 心得 剛開始有電漿、液晶這種東西時，我以為它們是同一種東西，當它們開始普及的時候，才知道原來它們是有不同的，不同的是它們的發光方式。 在微奈米製程與材料分析的課程中，聽到〝暉盛科技股份有限公司〞的總經理　許嘉元先生，演講「電漿技術在產業的發展趨勢與應用」，對電漿有更進一步的了解與感到好奇。以前就只是知道電漿電漿，那它到底是什麼呢！？在報告的第一頁裡就清楚的介紹到了，在電漿的製程上，是那麼的複雜與麻煩；電漿的表面處理技術，從以前到現在是怎麼演進的也清楚的講解到，在一帶一帶上的優缺點，我們可以看到進步的地方，也可以知道，要想賺更多錢，又要有好的品質需要怎麼做；一直以為電漿只能用在顯示器上，聽到演講才知道，在玻璃、陶瓷、金屬材料上…等等都有它們的應用；在這個演講裡，我感覺到業界與學生在製作報告與上臺演講的方式與感覺差異真的很大，他們會有許多圖片與英文，充分顯示了他們在這領域的專業性，這個也是我覺得比較遺憾的地方，因為我們不是專業，所以英文不是很懂，要在短時間內真的去完完全全了解真的很難。能有這樣的機會跟經驗真的是很難得的，對於我們生活或是以後工作上都有很大的幫助。 參考資料 大熹企業有限公司/電漿表面處理 改質 馗鼎奈米科技股份有限公司/常壓電漿原理、技術與應用