电子功能材料及元器件（大学课件）梁喜双-5-3 陶瓷湿度敏感器件.pptxVIP

第五章 湿度敏感器件5-3 陶瓷湿度敏感器件主要内容5-3-1 陶瓷湿敏器件的工作原理 一、湿敏半导体陶瓷材料呈现高阻的原因 二、陶瓷湿度敏感器件的感湿机理 1.电子导电型感湿机理 2.离子（质子）电导型感湿机理5-3-2 陶瓷湿敏器件的实例 一、MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏器件 二、ZrO2系厚膜型湿敏器件 三、涂覆膜型湿度敏感器件5-3-1 陶瓷湿敏器件的工作原理 湿敏半导体陶瓷器件与气敏半导体陶瓷的敏感机理相比，有许多相似之处，但也有一些明显的差别。两者都属表面作用过程，但气敏主要是化学吸附，仅涉及电子的传导过程。而湿敏中不仅有化学吸附，也要考虑物理吸附的作用，电导不仅涉及电子过程，也涉及离子的作用。一、湿敏半导体陶瓷材料呈现高阻的原因1.本征表面态 本征表面态：在晶体内部，正、负离子均被第一近邻的异性离子所包围和屏蔽。在晶体的表面处，朝外一侧由于没有被异性离子所屏蔽，正、负离子各自对电子电荷具有不同的吸引作用，表面正离子具有较大的电子亲和力，在略低于导带底处形成受主能级；而表面负离子则在价带顶附近形成施主能级。这种表面能级的产生没有涉及杂质或表面吸附等作用，完全是由离子化合物的表面特性引起的，故称为本征表面态。 5-3-1 陶瓷湿敏器件的工作原理5-3-1 陶瓷湿敏器件的工作原理2.晶界势垒 对于多晶半导体湿敏陶瓷来说，晶粒间同样会形成晶界势垒。对N型材料在晶界处将形成