核测量与分析技术-山东大学.PPT

背散射分析的实验步骤和仪器装置 一般使用强的α粒子作为分析束， α粒子由加速器的离子源产生。 为了避免在空气中的散射吸收使问题复杂化，需将α粒子束的通道及散射靶室置于真空环境中。 从静电加速器获得的2MeV 的4He 束，经磁分析器选择后进人离子输运管道，经过两次准直后进入靶室，打到样品上，样品安装在一个可以在三维方向旋转并可平行移动的定角器上，用步进马达控制。 α粒子束斑大小约为1mm2产生，束流强度为十几个nA ，用束流积分仪记录。离子管道和靶室中的真空度为10-4Pa 。在散射角为160度-170度方向上放置一个金硅面垒半导体探测器，探测到的信号经前置放大器和抗堆积放大器送人微机多分析器记录能谱。测谱前要对多道分析器进行能量刻度。测量后对实验进行分析计算和处理，读谱和解谱的工作量要比测谱大得多，也难得多。 背散射分析的特点与局限性 优点 可对多种元素同时分析，既可定性，又可定量。信息量大，可以分析样品的元素种类、组分配比、薄膜厚度、杂质分布和界面反应等。 为不破坏样品的无损分析，既可作表面分析，又能分析表面下、埋层及多层样品。 对真空度要求适中，只需10-4Pa ，调换样品方便、快速。 深度分辨好，分辨率可达几个nm 。 探测重元素灵敏度高，对半导体材料，冶金材料尤为适用。 背散射谱易于识别分析，便于掌握。 背散射分析也存在局限性 对探测轻元素不灵敏，如对薄膜样品中的