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jyd-多弧离子真空镀膜机方案书 一、 设计平面图示(图片) 二.doc
JYD-1213多弧离子真空镀膜机方案书设计平面图示(图片) 技术指标1.真空室1-1 内尺寸?1200mm×H1300mm 立式单开门,壁厚内壁8mm,外壁4mm,(304国标标准不锈钢)。1-2 门上设置与2个观察窗。1-3 室体采用304不锈钢双层水套式结构。1-4 加热器在室体中间,工件加热均匀。1-5 更换夹具可以镀制Ф300×1.5mm厚工件,每炉可镀45件、 Ф630×1.5mm厚工件、每炉可镀4件!可镀膜层铬(Cr)、镍(Ni)或其它金属。铬、镍分别镀,也可混镀!成膜速度每小时3~6μm厚(单面)。2抽气性能2-1 极限真空 8.0X10-4Pa.2-2 工作真空 大气至8.0X10-3Pa.≤16min2-3 升压率 0.68 Pa.\h。3转架运动形式3-1 转架采用公自转形式,转架正反相。(6转轴或者按照客户要求定制)3-2 公转转速0-6转\分钟(转速可调)。应用特点1, 本机适用于各种工具镀膜要求,如切削工具、钻头、模具等表面镀制各种硬质膜、进行单层与多层(纳米)膜、金属化合物及装饰物膜的镀制。2, 用一台直流偏压电源可以进行镀膜之前的离子清洗与辅助工艺镀膜。3. 采用多弧与偏压电源配置。4. 使用PLC+触摸屏操作控制,操作简单、可靠,可选人工与全自动操作。主要配置序号名称型号与规格数量单位备注1真空机组2X-8旋片泵(成都)1台 2X-70旋片泵(成都)1台 ZJP-300罗茨泵(浙江真空)1台 KT-500扩散泵(沈阳真龙)+冷阱1台 2真空室体(内8+空5+外4)室体?1200×H1300,304不锈钢钢制造1套 单门,门上配2个观察窗采用上吊(或下)式转架,即有公转又有自转,公自转速可调。室体内配装一套不锈钢衬板(304不锈钢)3阀门管道阀门用优质碳钢制造1套 管道均采用不锈钢制造4转架系统镀膜旋转方式:公自转形式,转架正反相1套 挂杆2套(挂具客户自制)转动电机功率:0.75KW1台(变频调速)5测量控制仪HY-9940B型复合真空计(北大)1套 6多弧阴极靶多弧阴极靶(镍、铬靶分别6个买方自备)10套7电控系统电控柜1台、电源柜1台1套 主要电器采用国内外著名品牌日本PLC+昆仑通态,10.4寸触摸屏手自动操作8电源偏压电源30kw 三石1台电弧靶电源(180A) 三石10台 有自动记忆功能9水路汇水管用不锈钢制作、压力表、阀门、电磁阀等1套10气路选用品牌气动三联件与电磁阀门控制 1套11气体控制流量计500、1000、1000(SCCM) 真空室上下有2个充气孔3套12加热器输出功率:中心18KW 烘烤温度0℃-300℃可调(自动控制)1个中心加热器孔;热电偶测温孔等。1套13报警系统多弧靶与扩散泵缺水断电保护1套 水压、温度与流量、气压、机械泵缺相保护14随机文件使用说明书、平面安装图1套 电路接线图零配件清单、技术指标验收清单加工周期60个工作日(收到预付款之日起)。运输方式简易包装,供货方负责装车(运费与卸货由买方负责)。付款方式:1.总价38万人民币;预付款40%。设备出厂前(由买方验收合格后)客户满意后付余款的60%! 售后服务(上门服务国际差旅费用买方承担)供货方派工程技术人员协助安装、调试,买方提供必要的帮助与配合。全套设备免费保修12个月(设备正常保养与易损、易耗品除外)。超过保修期后,我公司在合理的收费情况下继续为贵公司进行设备的终身维修服务。 宁波骏鹰真空科技有限公司 2013.06.22JYD - 1213 vacuum arc ion coating machine plan book一、Plane graphic design (picture) 二、Technology parameters1;Vacuum chamber1-1 inside size ? 1200 mm×H1300mm vertical single open the door.1-2 door with two observation window set.1-3 Chambers in 304 stainless steel double water set type structure.1-4 heater Chambers in the middle, the
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