不锈钢表面高功率脉冲磁控溅射制备crcrncu-tin多层膜的研究-study on preparation of crcrncu - tin multilayer films by high power pulsed magnetron sputtering on stainless steel surface.docxVIP

学习期限：2012 年 9 月至 2015 年 6 月学位授予单位：佳 木 斯 大 学学术诚信承诺本人郑重声明：所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作 及取得研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论 文中不包含其他人已经发表或撰写的研究成果，也不包含为获得佳木斯大 学或其他教育机构的学位或证书所使用过的材料。与我一同工作的同志对 本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。签名： 日期： 关于论文使用授权的说明本人完全了解佳木斯大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学校 有权保留送交论文的复印件，允许论文被查阅和借阅；学校可以公布论文 的全部或部分内容，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。（保密的论文在解密后应遵循此规定）签名： 导师签名： 日期： 摘要为使手术器械获得强耐蚀性和抗污染性等优异性能，根据“荷叶效应”，本研究创 新性地在手术器械材料 304 不锈钢表面用化学溶液刻蚀出蜂窝状微纳米结构表面形貌， 然后在其表面高功率脉冲磁控溅射沉积 Cr/CrN/Cu-TiN 多层膜，所制薄膜具有强耐蚀 性和疏水性。多层膜结构和性能检测用扫描电子显微镜、X 射线能谱仪、X 射线衍射 仪、金相显微镜、电化学工作站、显微硬度仪、涂层附着力自动划痕仪和接触角测量仪 等。本研究以最大膜基结合力为标准，确定了光滑不锈钢表面沉积多层膜最佳工艺参 数，在