第十五讲-传感器(9)-.pptVIP

2009-04-09 中国科学技术大学 快电子实验室 刘树彬? 近代信息处理（第十五讲） ——传感器（9） 刘树彬 2009.04.09 本课程以输入量分类介绍传感器 温度传感器 气体传感器 光传感器 力学量传感器 磁敏传感器 湿度传感器 电压敏传感器 生物传感器 力学量传感器 力学量传感器——压力电阻效应 材料的电阻或电阻率随外加应力而改变的现象成为压力电阻效应 利用压力电阻效应可以制作力敏电阻（或称电阻应变计） 用处：荷重、扭矩、加速度、位移、压力等测量 分两大类 金属电阻应变计 半导体电阻应变计 应变效应的理论基础 金属导体的电阻定律(线材) 材料的泊松比μ 应变效应的理论基础 金属材料应变电阻效应 俄国学者勃底特兹明通过实验发现： 最后得到金属丝应变电阻效应的灵敏系数 Km ： 应变效应的理论基础 半导体材料的应变电阻效应 史密斯等学者发现，锗、硅等单晶半导体材料具有压阻效应，且满足： 半导体材料的总电阻的相对变化与应变的关系为 最后得到半导体应变电阻效应的灵敏系数 ： 力学量传感器——金属丝式应变片 金属在收到拉应力作用时，长度增加，截面积减小，电阻值增大；反之，电阻值减小 金属丝制成栅形贴在弹性基片表面，并引出引线作为电极 材料：铋、锑、镍铬合金、康铜等 力学量传感器——金属箔式应变片 工作原理基本和电阻丝式应变片相同 电阻敏感元件不是金属丝栅，而是通过光刻、腐蚀等工序制成的薄金属箔栅 金属箔的厚度—般为(0.003～0.010)mm，基片和盖片多为胶质膜，基片厚度一般为(0.03～0.05)mm 优点：表面积和截面积之比大，散热条件好，允许通过的电流较大，可制成各种需要的形状，便于批量生产 力学量传感器——半导体应变片 基于半导体材料的压阻效应而制成的一种纯电阻性元件 实验证明πE比1+2μ大近百倍，所以1+2μ可以忽略，因而半导体应变片的灵敏系数为K= πE 优点:体积小，灵敏度高，频率响应范围宽，输出幅值大，不需要放大器，可直接与记录仪连接，使测量系统简单 缺点：温度系数大，应变时非线性较严重 电阻应变片的重要特性（1） 灵敏度系数 金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系，用灵敏度系数KS表示 当金属丝做成应变片后，其电阻—应变特性与金属单丝情况不同 应变片的灵敏系数K恒小于线材的灵敏系数KS，原因是胶层传递变形失真和横向效应 金属应变片的电阻相对变化与应变ε在很宽的范围内均为线性关系 电阻应变片的重要特性（2） 横向效应 金属应变片由于敏感栅的两端为半圆弧形的横栅，测量应变时，构件的轴向应变ε使敏感栅电阻发生变化，其横向应变εr也将使敏感栅半圆弧部分的电阻发生变化(除了ε起作用外) 应变片的这种既受轴向应变影响，又受横向应变影响而引起电阻变化的现象称为横向效应 每个圆弧形横栅的变形量Δl为： 电阻应变片的横向效应 纵栅为n根的应变片共有n-1个半圆弧横栅，全部横栅的变形量为 应变片敏感栅的总变形为 所以： 可见敏感栅电阻的相对变化分别是ε和εr作用的结果 令 则： 横向灵敏系数与轴向灵敏系数之比值，称为横向效应系数H 可见r愈小，l愈大，则H愈小。即敏感栅越窄、基长越长的应变片，其横向效应引起的误差越小 电阻应变片的重要特性（3） 机械滞后 产生原因：应变片在承受机械应变后，其内部会产生残余变形，使敏感栅电阻发生少量不可逆变化；在制造或粘贴应变片时，如果敏感栅受到不适当的变形或者粘结剂固化不充分 机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关，加载时的机械应变愈大，卸载时的滞后也愈大 通常在实验之前应将试件预先加、卸载若干次，以减少因机械滞后所产生的实验误差 电阻应变片的重要特性（4） 零点漂移和蠕变 零点漂移 对于粘贴好的应变片，当温度恒定时，不承受应变时，其电阻值随时间增加而变化 原因：敏感栅通电后的温度效应；应变片的内应力逐渐变化；粘结剂固化不充分等 蠕变 在一定温度下，使应变片承受恒定的机械应变，其电阻值随时间增加而变化 原因：由于胶层之间发生“滑动”，使力传到敏感栅的应变量逐渐减少 电阻应变片的重要特性（5） 应变极限 在一定温度下，应变片的指示应变对测试值的真实应变的相对误差不超过规定范围（一般为10%）时的最大真实应变值 真实应变是由于工作温度变化或承受机械载荷，在被测试件内产生应力(包括机械应力和热应力)时所引起的表面应变 原因：粘结剂和基底材料传递变形的性能及应变片的安装质量 制造与安装应变片时，应选用抗剪强度较高的粘结剂和基底材料 基底和粘结剂的厚度不宜过大，并应经过适当的固化处理，才能获得较高的应变极限 电阻应变片的重要特性（6） 动态特性 当被测应变值随时间变化的频率很高时，需考虑应变片的动态特性 因应变片基底和粘贴胶层很薄，