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PAGE 6 高效率能源技術研究中心 計畫名稱：陣列式麥克風系統合作開發契約書 研究者：白明憲 經費來源：佳樂電子股份有限公司 關鍵詞：陣列；方向估測；波束形成 陣列式麥克風主要是應用在室內會議或是行動通訊上，因為陣列式麥克風能產生方向性用以加強聲源的訊號及減少雜訊的干擾、提供聲源方向的辨識和免持的方便性。在這一年的研究計畫中，我們旨在為佳樂電子公司發展麥克風陣列訊號處理技術。如利用非整數延遲濾波器或AR(Auto Regressive)等方法來做方向估測（DOA）或波束形成（Beamforming），並且實作一陣列式麥克風以DSP晶片來運算上述之演算法。使其成為產品化的基礎用以發展室內會議麥克風或行動通訊免持聽筒等應用。 91C154（91.09.01-92.08.31） 計畫名稱：高效率能源技術研究發展計畫—潔淨室省能技術與半導體製程省能技術 研究者：陳俊勳(計畫主持人)、林清發、洪景華、曾俊元、葉清發 經費來源：經濟部能源委員會 關鍵詞：潔淨室廠務系統；半導體省能技術潔淨室流場設計；低溫製程；低溫絕緣膜技術；人才培訓班；學術研討會 本年度的研發項目為半導體低溫省能製程技術之研發與推廣，主要的計畫內容區分為應用技術的研究開發與應用技術的推廣二項性質。計畫目標與工作內容為： 潔淨室送風系統與機台配置最佳化設計；污染物擴散之實驗建立 低溫製程之研發 低溫成長矽氧絕緣膜之高膜質