多晶硅薄膜太阳能电池的衬底材料与制备工艺.pdfVIP

第 34 卷 增刊 I 稀 有 金属 材 料 与工 程 Vol .34, Suppl .l 2 0 0 5 年 6 月 R A R E M E TA L. M AT E R I A L S A N D E N G I N E E R I N G J u n e 2 0 0 5 多 晶 硅 薄 膜 太 阳 能 电 池 的 衬 底 材 料 和 制 备 工 艺 张立明 ，‘李海峰2，黄 勇 ’,2，张厚兴 ,2‘，万之坚 ’，许 颖3，王文静 (1. 清华人学 材料科学与工程系，北京 100084) (2 . 清华大学 深圳研究生 院，广东 深圳 51805 ) (3 . 北京 市太 阳能研究所，北京 100083) 摘 要 : 研究 了太阳能电池的发展历程，详细介绍了多晶硅薄膜 太阳能电池 的各种工 艺，阐述 了在实际研究过程中沉 积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和」_艺，并对多晶硅薄膜 太阳能电池 的研 究趋势做 了展望 关键词: 陶瓷衬底: 多ni p硅薄膜 : 太 阳能电池 中图法分类号: TG 1 4. 1 文献标识码: A 文章编号 : 1002- 18 5X( 200 5)81-0464-03 须要大幅度地 降低成本 。薄膜太 阳能电池在降低成本 1 引 言 方面 比品体太 阳能电池具有 更大的优 势: 一是实现薄 照射在地球上的太阳能非常 巨大 ，每 3 d 太 阳向 膜化后 ，可极大地节省 昂贵 的半导体材 料; 一是薄膜 地球辐射 的能量 ，就相当于地球所有矿物燃料能量 的 电池的材料制备和 电池 同时形成，因此节省了许多工 总和 ; 大约4 0 m in 照射在地球上 的太阳能 ，便足 以供 序; 三是薄膜太阳能电池采用廉价衬底( 陶瓷、不锈钢 全球 人类 l a 能量的消费，是真 正取之 不尽、用之不竭 等) ，可 以获得 大面积 的电池组件 ，减少组件间串并联 的能源。太阳能电池可将太阳能直接转化成 电能供人 带来的效率损耗 。 类使 用，是利用太阳能资源 的有效方式 ，在使用 中不 目前研 究比较深入 的薄膜太阳能电池主要有硅 基 会产 生任 何有害物质 ，是一种 无污染的产 品。另外太 太阳能 电池和铜锢锡 、硫化福 等化 合物 半 导体薄膜 电 阳能电池 还具有系统运行可靠 ，长寿命 ，安装使用方 池 。非晶硅薄膜太阳能 电池虽在成本上具有一定优势 ， 便 等优 点，所以，太 阳能 电池在解 决能源与环境 问题 但光衰退效应严 重制约 了其 发展空间，一些理论问题 方面倍 受青睐，是 尸种有着极好市场前景 的产 品，被 也有待进一步探 索 而铜锢 锡. 蹄 化锅 等化合物薄膜 誉 为是理想 的能源 电池，也因为锢 兀素含量稀少、锅元 素有剧毒等 问题 ， 2002 年 诺 贝尔革新奖获得者、澳大利亚新 南威尔 影响其应用化进程 。所 以，效率稳 定、原材料丰富的 十大学 的马 」一格林教授把人 阳能电池划分为 三代 : 第 多晶硅薄膜太阳能 电池成为最有希望取得 成功的第二 一代是传 统的晶体硅材料太阳能 电池 : 第 一代是方兴 代太阳能电池。 未艾 的薄膜太 阳能