半导体自动化 200mm与300mm AMHS.docVIP

通常,自动化是指集成在自动过程中用于降低人工操作程度的硬件和软件系统。自动化又包括信息自动化和物流自动化两个部分（图1）。信息自动化与工艺步骤的执行过程相关,包括制造执行系统（manufacturing execution system, MES）、信息通讯、工艺设备工作状态监测（用于工作程序和工艺过程管理）、物料识别和追踪等等。物流自动化通常和WIP传送相关（例如FUOP,SMIF等）,包括如何将其运送到工艺设备端或者在不同的存储区域之间进行调度,以及晶片在工艺设备内部的传送（包括设备内部缓冲区,装载端口-port,晶片传送机械手臂等）。图1. 工厂自动化系统的典型组成：信息自动化和传送自动化（本文指物流自动化）。　　从整个工厂的角度来看,许多设备内部的自动化晶片传送部件都可以被定义为信息自动化系统中设备控制和管理功能的一部分。除了WIP自动传送外,光罩传送自动化也是传送系统自动化的一项内容。通常,人们将传送WIP和光罩的自动化系统定义为自动物流处理系统（AMHS）,它已成为现代化300mm半导体工厂自动化系统中最大的单项投资项目。　　过去几年的经验显示信息自动化可以大大推动产品成品率（yield）的提高。因为信息自动化可以大大提高设备管理水平、进行工艺数据收集和统计工艺控制（SPC）、保证物流控制更加顺利,同时还可以提高recipe管理水平和提高物质识别准确率,从而减少误操作和返工（rework）现象。此外,信息自动化还可以改善WIP的直观监控,实现先进的实时派工,提高生产速度。经验证明,对信息自动化进行投资可以增加fab附加价值。　　过去,物流自动化的作用在于保证工艺设备有事可做,维持足够的WIP流向下一道工序并且使WIP顺利地传送到下一台工艺设备。通常,200mm fab采用人工传送和存储WIP、或者人工传送和interbay之间自动传送与存储相结合的运作模式。Intrabay更加复杂的传送和存储则通过操作工人按照信息自动化系统的指示来完成,从而在合适的时间将合适的WIP传送到合适的设备上。Interbay自动化取代了操作工人的长距离搬送。　　对于300mm fab来说,人工WIP处理已经被自动化传送系统所取代,包括所有工艺设备之间FOUP的传送、存储和分发。早期的300mm fab是通过MES系统对传送和存储流量进行控制的,AMHS主要用于满足MES下一道工艺对加工物料的需求。此外,可以通过AMHS控制软件对物料存储、管理和传送路线进行优化。　　现在的300mm AMHS系统则不同,它被事先整合在fab高层次信息系统中,可以在预估工艺完成时间的基础上预测WIP传送需求,对fab内发生的各种异常状况或生产环境的改变（例如计划外设备停机等）进行自动响应。现在的AMHS系统已经从上一代“下一道工艺步骤”响应系统发展到最大程度减少设备空闲时间、提高生产速度、缩短生产周期和实现fab生产目标的先进系统。　　200mm自动化传送系统　　对于早期的200mm fab来说,大部分WIP传送、存储和分发是通过人工操作完成的。后来的200mm fab在人工操作基础上结合了interbay自动传送和存储系统,然而WIP和设备之间的流通仍然没有实现自动化。200mm fab向自动化传送系统的转变是迫于fab规模扩大和产量提高所带来的压力。为了提高生产效率或生产更多种类的产品,许多200mm fab采用了AMHS系统促进生产或改善多种产品共线生产的管理,最终开发出更先进的fab布局,充分利用interbay高效率自动传输的优点。　　AMHS能够满足更大规模fab运行的需求。此外,fab内操作工人和信息自动化系统以及产品管理系统之间的密切合作也是提高生产速度、使fab能够按照承诺出货的重要因素。通常,操作工人和各区经理可以通过各区的生产经验和相关知识提高生产速度,达到生产时间表的要求。操作工人可以通过其聪明才智对生产条件的改变进行快速响应,例如为批量处理工艺安排合适的lot,预先将WIP停在合适的步骤、设备停机、设备维护以及其他计划内或计划外的事件。　　200mm AMHS的作用是直观地控制WIP和取代没有任何附加价值的interbay人工搬送。AMHS的存储容量和传送速度必须能够满足生产需要,使操作工人可以及时获取所需WIP。200mm fab中,AMHS起到非常重要的作用,它可以使fab实现大规模生产,可以帮助操作工人提高生产速度和缩短生产周期。　　早期的300mm自动化传送系统　　早期的300mm AMHS系统实际上是200mm interbay传送系统的延伸,它在已有interbay传送系统上增加了intrabay传送系统。当然,存储货架（stocker）需要增加额外功能-interbay/intrabay之间的