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显微镜发展及在长度计量中应用 　　摘要：显微镜是长度计量中一类常见的光学仪器，其可以实现被测对象的高精度长度测量。本文首先对显微镜的特点、分类及发展进行了简要介绍，然后对显微镜可实现的几种典型计量进行了分析，最后具体就基于显微镜的影像法在长度计量中的应用进行了研究和讨论。 　　关键词：显微镜 长度计量 影像法 　　长度计量是将被测对象与已知的、标准的长度进行对比，确定被测目标度量值的一个过程。早期的长度测量主要借助机械工具进行，如游标细分测量、螺纹放大测量等。之后随着光学精密仪器研究的深入，多种光学装置和技术逐渐被应用到长度测量中，如自准直、显微镜、光波干涉等。这些技术和装置的应用极大的拓展了长度测量的领域，使得小型复杂形状对象的测量实现成为可能。显微镜可以对复杂被测对象的长度、角度以及螺纹等进行高精度测量，是长度测量中应用最为广泛的测试仪器之一。 　　1. 显微镜的发展 　　显微镜出现于二十世纪二十年代，其可以有效提高对象的显示分辨率，大数值孔径的物镜和短波长的照明光源配合使用可以获得更高的放大倍数和分辨率。使用可见光进行测量的光学显微镜存在一个分辨率极限，即光源波长的二分之一，但是后续出现电子显微镜、超声显微镜等则可以突破该极限，进一步提升测量的精度。 　　依照成像原理对现有的显微镜进行分类可将其分为光学型、干涉型、共焦型以及扫描型等；依照载体波长对现有显微镜进行分类可将其分为基于可见光的显微镜和基于不可见光的显微镜两类；依照工作方式又可将显微镜分为近场和远场两类。 　　1.1 传统光学显微镜 　　该类型的显微镜在对被测对象的长度进行测量时不会造成损伤，且对象的状态、材料、温度、透明度等属性都不会对测量结果造成明显影响，因而光学显微镜的应用环境非常广泛。用于测量的显微镜如干涉显微镜、工具显微镜、测量显微镜等可以对工业生产领域的多种长度或其他度量单位进行测量。 　　1.2 超声显微镜 　　该类型的显微镜使用超声波来替代可见光源对目标对象进行测量。测量所使用的超声波在接触到目标对象时会发生相互作用而出现折射、反射以及衍射等现象，这些现象可以生成具有目标对象结构和特征的参数信息，显微镜接收到相关信息后即可进一步地进行处理，实现声成像。 　　1.3 电子显微镜 　　该类型的显微镜使用超长波长的电子束作为载体对被测目标进行参数测量，其分辨率可达到0.1nm。依照工作方式不同，可以将当前所使用的电子显微镜分为扫描式和投射式两类。 　　扫描式电镜在对目标进行参数测量时会将电子束聚焦后以扫描的方式垂直照射到被测物体中，之后在目标对象的背向对散射电子和二次发射电子相关信息进行检测即可获得目标对象的形貌衬度像。 　　透射式电镜则是利用电子束在外部磁场或电场环境下会出现偏移或弯曲这一现象对目标对象进行检测，进而形成电子束透射后的像。 　　1.4 X射线显微镜 　　该显微镜使用X射线对目标物体进行照射，获取目标对象的相关参数。相较于电子显微镜来说，其最大的优势在于不会破坏生物细胞的活性，因而X射线显微镜在生物医学领域具有广泛的应用。 　　2. 显微镜可实现的长度计量种类 　　2.1 对几何尺寸的测量 　　在测量具有几何尺寸的对象时可以使用测量显微镜，其测量精度可达微米量级，既适用于小型对象的测量，又可适用于大型对象的测量。 　　2.2 对表面形貌的测量 　　表面形貌是长度计量的一个分支内容，应用光切显微镜和干涉显微镜可以实现工件表面粗糙度的测量。随着STM和AFM技术的应用，现代显微镜还可以实现非接触、高分辨率的对象表面结构与成分测量。 　　2.3 对线宽和掩模的测量 　　使用共焦镜可以为高集成度、小尺寸的对象进行线宽计量与掩模计量。计量时，测量时激光通过长焦透镜形成发散光束，之后短焦物镜对所生成的发散光束进行汇聚，并将其透射到目标对象表面，反射回来的光束结构分光镜和小孔光阑后即可被显微镜接收，接收信号的大小即可用于分析被测对象的表面高低变化。 　　3 .基于显微镜的影像测量法 　　影像测量法是显微镜长度计量中所使用的常用方法之一，其将目标对象放置在照明装置的光路中，光源经过系统照射到目标对象表面后会形成反射、透射、折射等进入到主镜头中，在此基础上使用显微镜观察主镜头中的米字刻线重合度即可确认长度计量的结果。 　　测量时需要注意焦距、光圈直径、工作面与定位基准的垂直度以及对线等几部分控制要素。 　　聚焦精度的大小会直接影响到测量结果的精度。在对对象进行聚焦时可以先使用目镜进行视度调节，以可以清晰看到分划板的刻线为宜；然后在将显微镜调焦到视测面上，同样以清晰看到物体轮廓为宜；为保证测量结果的精度，还需要确保分划板、刻线、目标对象处于同一聚焦面。 　　光圈直径在测量光滑圆柱或螺纹对象的长度时具有重要作用。其大小需要根据被测对象进行具体选取。 　　工