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0.5~100mm4等量块中心长度校准结果的不确定度评定
1、概述
1.1、测量方法:依据JJG146-1994《量块检定规程》。
1.2、环境条件:温度(20±0.5)℃,相对湿度≤65%。
1.3、测量标准:0.5~100mm3等量块,测量扩展不确定度不大于(0.10+1Ls)( Ls以m为单位),包含因子k=2.7。
1.4、测量对象:0.5~100mm4等量块。
1.5、测量过程
4等量块中心长度是以相同标称尺寸的3等量块作标准,在接触式干涉仪上用比较方法测量的。为使标准和被量块的温度达到平衡,测量前两量块需同时放在接触式干涉仪工作台上等温。测量时,先将对应于标准量块中心长度的仪器示值调整为零。再测得被测和标准量块中心长度的差值。两人测量结果的算术平均值与标准量块中心长度的实际值之和即为被测量块中心长度的实测结果
1.6评定结果的使用
在符合上述条件下的测量结果,一般可直接使用本不确定度的评定结果。
2、数学模型
=+
式中: —被测量块中心长度;
—被测量块与标准量块中心长度差值的算术平均值;
—标准量块中心长度;
3、输入量的标准不确定度的评定
3.1、输入量标准不确定度的评定
输入量的标准不确定度来源由7个不确定度分项构成:
由仪器示值不稳定和读数误差引起的标准不确定度;
定标时读数引起的标准不确定度;
由于量块变动量的存在,标准量块测点偏移量块中心引起的标准不确定度;
由于量块变动量的存在,被测量块测点偏移量块中心引起的标准不确定度;
标准量块与被测量块的线膨胀系数之差的不确定度引起的标准不确定度;
标准量块与被测量块温度差引起的标准不确定度;
滤光片中心波长的测量不确定度引起的标准不确定度;
上述7个不确定度分项中,前4项通过大量的连续测量得到数个测量列,采用A类方法进行评定,评定用结果用表示。第5、第6项根据规程的要求和环境条件采用B类方法进行评定,评定用结果用和表示。经计算,第7项引起的标准不确定度为1.2nm,忽略不计。
=
3.1.1的评定
选取长度变动量较大的3等量块作标准,对一块长度变动量处在4等边缘状态的100mm4等量块在重复性条件下连续10次比较测量,得到测量列10.62,0.69,0.73,0.58,0.55,0.64,0.59,0.62,0.65,0.63。
=0.630
单此实验标准差 =0.044
采取同样的方法选取10mm、50mm、100mm4等量块各3块,分别由不同的检验员用3台接触式干涉仪各在重复性条件下连续比较测量10次,共得到9组测量列,每组测量列分别按上述计算得到实验标准差如下表所示。
9组实验标准差
标称尺寸mm 10mm 50mm 100mm 实验标准差sj
s1=0.026 s2=0.033 s3=0.042 s4=0.028 s5=0.032 s6=0.042 s7=0.022 s8=0.034 s9=0.028 取以上9组实验标准差sj中的最大标准差smax作为单此实验标准差。实际测量中,两人各测一次取算术平均值为测量结果,则可得到
=smax/= 0.044/=0.031
自由度为 ν1=10-1=9
3.1.2的评定
规程规定,钢质量块的线膨胀系数为(11.5±1)10-6/℃。假定标准和被测量块的线膨胀系数均在(11.5±1)10-6/℃范围内等概率分布,则标准量块和被测量块的线膨胀系数之差应在±210-6/℃范围内服从三角分布,该三角分布半宽为210-6/℃,标准不确定度为
=(-20)/
若被测量块温度与标准温度20℃的偏差不超过0.5℃,则对于100mm量块,
=(0.1106)0.5℃210-6/℃/=0.041
估计的相对不确定度=10%,则其自由度50
3.1.3的评定
原则上要求标准量块与被测量块温度达到平衡后进行测量,但实际测量时,两量块有一定的温差。假定在±0.1℃范围内等概率分布,该分布半宽为0.1℃,则由引起的标准不确定度为
=/
则对于100mm量块,
=(0.1106)11.510-6/℃0.1℃/=0.066
估计的相对不确定度=0.1,则其自由度50
3.1.4、标准不确定度的计算
对于100mm量块,
=0.084
=
对于100mm量块,
50
3.2输入量标准不确定度的评定
标准量块中心长度的不确定度及其自由度取自3等量块0.5~100mm的不确定度(采用B类方法进行评定)
=0.0
估计其相对不确定度=10%,则其自由度50
成标准不确定度的评定
4.1、 灵敏系数
数学模型 =+
灵敏系数 c1==1
c2==1
4.2、标准不确定度汇
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