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一种便携式光学表面轮廓仪 　　摘要： 中国论文网 /1/viewhtm　　研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪，分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术，实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法，实现了一体化轮廓仪光路集成，优化了机械三维调整测量台，实现了可用于大、小口径元件表面测量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明，仪器的粗糙度测量精度为0.1 nm，重复性误差优于0.01 nm，横向分辨率优于1 μm。 　　关键词： 　　短相干光相移干涉； 表面轮廓； 干涉显微镜； 粗糙度 　　中图分类号： TH 741.1文献标志码： Adoi： 10.3969/j.issn2016.02.016 　　Abstract： 　　A portable microscopic profilometer is studied based on shortcoherent light phaseshifting interferometric technique.The portable microscopic profilometer was designed and implemented which was based on shortcoherent light interference microscopic techniques.The integration of the profilometer is achieved by integrating optical path.The design of mechanical 3D adjustment platform is optimized.The instrument contains upright and inverted measurement modes to adjust the detection of tiny and large aperture optical surfaces.The measurement experiments of the profilometer are carried out under laboratory condition.The instrument’s accuracy is up to 0.1 nm.Repeatability error is better than 0.01 nm and lateral resolution is better than 1 μm. 　　Keywords： 　　shortcoherent light phaseshifting interferomotry； surface profile； interference microscope； roughness 　　引言 　　轮廓仪可以分为接触式和非接触式，最典型的接触式轮廓仪是触针式轮廓仪，它能够测量平面、球面、非球面等多种形状的表面轮廓[1]。触针式轮廓仪发展很早，目前国内外均有成熟的产品，英国Taylor Hobson 公司生产的PGI 1240 轮廓仪的分辨率优于0.8 nm，德国Nanoscan轮廓仪产品的分辨率优于0.6 nm。该类仪器具有量程大和精度较高的特点，但触针会不可避免地对表面产生一定的损伤，且需要大量的扫描时间，测量效率较低。非接触式可以分为扫描显微镜和光学轮廓仪，其中光学类又可分为光学探针法、偏振相移干涉法、显微干涉测量法等。与其他光学技术相比，干涉显微镜的放大倍数和分辨率较高，可以获得直观的表面轮廓信息，检测效率和检测精度都较为理想。Veeco NT9100轮廓仪和4D公司动态光学轮廓仪的测量精度均可达0.1 nm，但不足的是NT9100受载物台尺寸和工作距离的限制，无法实现针对天文望远镜等大尺寸元件的面形检测，同时受被测样品厚度影响，每次测试都需要长时间的重新调试，因此无法适应工业生产检测中的快速批量检验。Nanoscan可以适用于不同口径元件的轮廓测量，但是物镜只能倒置测量，当被测件口径较小时，调整十分不便。国内Chang等[2]研制了WIVS 型白光干涉表面轮廓测量仪，垂直分辨率优于0.5 nm，垂直测量范围为0.25 mm。目前全世界绝大部分的微电子和光学加工产业在中国，而这些仪器的测量技术是国外垄断的，价格非常昂贵，国内相对缺少此类仪器的开发。 　　本文针对上述问题，开发出基于相移干涉显微镜且稳定性强、精度高的便携式表面三维微观轮廓在线测量仪器，使其能够在工厂批量生产加工的过程中，无论在重复性还是在测量精度上均能达到在线使用的目的。 　　1系统基本原理 　　1.1移相干涉技术 　　光的干涉指当两束或多束相干光波在空间