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气体保压测试报告： 保压测试报告 客户名称 机台名称 Furnace 13# 17# 检测项目 　 检测 检测者 设计规范 平均工作压力 ㎏/㎝2 保压试验压力 ≧㎏/㎝2 试验气体 氮气 结束压力值 压力值 ＝ ㎏/㎝2 判定 　 业主代表 主管 　 　 　 Moisture含量测试报告：Moisture含量测试报告 客户名称 机台名称 　F 检测项目 　 检测 检测者 　 检测装置 试验气体 氮气 合格标准 ≦ PPb 结果 判定 　 业主代表 测试者 　 　 　 微O2含量测试报告： 微O2含量测试报告 客户名称 机台名称 　 检测项目 　 检测 检测者 　 检测装置 试验气体 氮气 合格标准 ≦ PPb 检测点 　 结果 判定 　 业主代表 主管 证明人 　 　 　 Particle测试报告： Particle测试报告 客户名称 机台名称 　F 检测项目 检测 检测者 　 检测装置