第15讲湿度传感器.pptVIP

概念分析 一团空气具有一定的温度和一定的压力，能容纳一定量的水汽；当所含水气达到这个极限时（即进入空气的水分子与离开的水分子一样多），空气即饱和，就是说达到了饱和水气压。每立方米的10℃饱和空气中含有9.41克水汽，20℃时含有17.117克 相对湿度不仅随绝对湿度，而且随空气的温度而变化 一团未饱和空气降温时，相对湿度增加，直到100％的饱和点。超过这一点，进一步降温，空气不再能容纳的过多水汽便呈小水滴形态凝结出来。这个临界温度称为露点 湿敏传感器 湿度检测的难度： 空气中水蒸气含量少 液态水会使一些高分子材料和电解质材料溶解，一部分水分子电离后与溶入水中的空气中的杂质结合成酸或碱，使湿敏材料不同程度地受到腐蚀和老化，从而丧失其原有的性质 湿信息的传递必须靠水对湿敏器件直接接触来完成，因此湿敏器件只能直接暴露于待测环境中，不能密封 要求：在各种气体环境下稳定性好，响应时间短，寿命长，有互换性，耐污染和受温度影响小等。微型化、集成化及廉价是湿敏器件的发展方向。 特性 湿滞曲线 响应速度曲线 薄膜型 改变介电常数，改变电容值 体积小，响应快，低湿灵敏度高 * * 第15章湿敏传感器 15.1 湿 敏 传 感 器 湿度是指大气中的水蒸气含量，通常采用绝对湿度和相对湿度两种表示方法。 绝对湿度是指在一定温度和压力条件下， 每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量，单位为g/m3，一般用符号AH表示。 M--水汽的摩尔质量； ????? R--摩尔气体常数； ????? T--绝对温度。 15.1 湿 敏 传 感 器 相对湿度是指气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态的绝对湿度之比，一般用符号%RH表示。相对湿度给出大气的潮湿程度，它是一个无量纲的量，在实际使用中多使用相对湿度这一概念。 绝对湿度也可称为水汽浓度或水汽密度 相对湿度则给出了大气的潮湿程度 Pw--待测空气温度T同温时水的饱和水汽压 湿敏传感器分类 15.2.1 氯化锂湿敏电阻 氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。它由引线、基片、感湿层与电极组成， 如图所示。  15.2 电解质湿敏传感器 氯化锂湿度—电阻特性曲线 15.3 半导体陶瓷湿敏电阻 特性分类： 电阻率随湿度增加而下降－负特性湿敏半导体陶瓷 电阻率随湿度增加而增大－正特性湿敏半导体陶瓷。 形式分类： 涂覆膜型，烧结体型、薄膜型 1. 负特性湿敏半导体的导电机理 　　由于水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导瓷表面吸附时，就有可能从半导瓷表面俘获电子，使半导瓷表面带负电。由于水分子吸附使表面电势下降，将吸引更多的空穴到达其表面，于是，其表面层的电阻下降。 由此可见，不论是Ｎ型还是Ｐ型半导体，其电阻率都随湿度的增加而下降。图示几种负特性半导瓷阻值与湿度之关系。 几种半导瓷湿敏负特性 2. 正特性湿敏半导瓷的导电机理 正特性湿敏半导瓷的导电机理的解释可以认为这类材料的结构、电子能量状态与负特性材料有所不同。当水分子附着半导瓷的表面使电势变负时，导致其表面层电子浓度下降，但这还不足以使表面层的空穴浓度增加到出现反型程度，此时仍以电子导电为主。于是，表面电阻将由于电子浓度下降而加大，这类半导体材料的表面电阻将随湿度的增加而加大。 3. 典型半导瓷湿敏元件 （1）MgCr2O4-TiO2湿敏元件－烧结型 （2）四氧化三铁（Fe3O4）湿敏器件 湿度传感器的选择 1．选择测量范围 2、选择测量精度 3、考虑时漂和温漂 15.4.1直读式湿度计 15.4 半导体式传感器应用