依据规范书所载明之各项规格数量进行验收并需检附-国家试验研究院.DOCVIP

財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室購案編號：NDL-S-099228頁次： PAGE 4　OF NUMPAGES 4購案名稱：99年度化學清洗蝕刻工作站（WET BENCH）設備保養本文件為國科會國家毫微米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES.filename：化學清洗蝕刻工作站（C05、C06）99年度設備保養採購規範 國家奈米元件實驗室99年度化學清洗蝕刻工作站（WET BENCH）設備保養招標規範書壹. 說明本規範適用於國家奈米元件實驗室化學清洗蝕刻工作站（C05、C06）99年度設備保養採購；用以符合原設備之製造設計規格需求，以利本單位執行研究及服務任務。該設備之年度保養規範詳如內文所述；本規範如有任何疑慮依業主解釋為準。貳. 採購標的包含項