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恒温恒湿系统 简介 2011-5-13 铂金通道环境控制系统 1 ECS (环境控制系统) Environmental control system简称ECS 50℃空气系统， 70℃露点温度： 2011-5-13 铂金通道环境控制系统 2 实际的露点温度 5﹪O 1﹪O 50 62.5 77.5 60 71.6 85.4 70 79.6 91.2 结论：露点温度越高，气泡越少，O含量越低，露点温度越高 露点温度控制 露点（dew point）：空气湿度达到饱和时的温度。 双重蒸汽控制阀； 气动控制； 蒸汽来自工厂动力系统。 2011-5-13 铂金通道环境控制系统 3 制程中气流的效应 在尽量减少玻璃流量的情况下，操作以改善Blister的表现。 控制参数 一般操作范围 变化△的冷却效应 变化△的玻璃效应 空气SCFM 800-1500 低 无 空气温度（入口） 40-100°C 低 无 露点 30-70°C 最高快速反应 最高 O﹪ 20﹪-1﹪ 无 高 入口段（MRF）气流设计 流量低：≈80scfm; 移除热量少; 气流方向：底部进、顶部出； 气流完全包覆MRF部位。 SCFM standard cubic foot per minute 标准立方英尺每分钟，英制流量单位 　　SCFH standard cubic foot per Hour 标准立方英尺每小时 　　换算 　　1立方米 = 35.314724827664立方英尺 　　1m^3/min=35.315 SCFM Finer-澄清段气流设计 流量低：≈100scfm; 移除热量少; 气流方向：与玻璃流动方向相同； 气流完全包覆Finer部位。 供料段气流设计 自Bowl至Finer为逆流向； 流量高：1000scfm 移除热量多； 非紊流； 气氛完全环绕输送系统组件。 MRF-RFE:低热损方式控制气氛，以压制气泡生成；低流量50~100scfm，厚重保温。 供料段以高热损方式控制气氛，以压制气泡生成，高流量1000scfm，未保温。 感应器 露点侦测器； 氧气侦测器 氧气、氮气注入处的温度侦测器. 2011-5-13 铂金通道环境控制系统 8 高湿的氮气 “混合气体”的温度； “混合气体”的流速； “混合气体”的露点； 2011-5-13 铂金通道环境控制系统 9 双风扇-变频控制 不锈钢壳体 变频控制 2011-5-13 铂金通道环境控制系统 10 RFS冷却系统 当使用氮气控制压力时，可提供RFS冷却系统，使用高露点。 有紧急备用冷却系统； 利用GSC控制器控制冷却流量。 2011-5-13 铂金通道环境控制系统 11 气泡控制 入口段、澄清段以低热损方式控制气氛以压制气泡生成，低气流量50-100SCFM,厚重保温。 供料段以高热损方式控制气氛以压制气泡生成，低气流量1000SCFM,不保温。 设备结构 入口段 澄清段 搅拌冷却供料段 2011-5-13 铂金通道环境控制系统 13 入口段结构设计 澄清段结构设计 混合气体在沟槽内流动，带走热量 气流与BL通向 搅拌供料段结构设计 2011-5-13 铂金通道环境控制系统 16 中间绝缘板固定 预留法兰出口 顶板、两侧封板快速拆装 不锈钢材质 入口风 透明视窗 两侧底部封板可拆连接 与BL逆流 快速拆装 供料桶气流散射 气流散射到弧形板避免直接吹到供料桶 铜排引出固定 铜排、冷却水管引出固定 解决热膨胀位移 绝缘保护 总装结构设计 2011-5-13 铂金通道环境控制系统 20