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- 2018-10-12 发布于天津
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B包.台式电镜(含能谱).doc
B包. 台式电镜(含能谱)
台式电镜+能谱
1.1.环境温度:22℃~25℃
1.2.相对湿度:≤80%
2. 用途:
可移动式桌面型材料微观分析仪,对金属材料、非金属材料、无机材料、有机化合物、陶瓷材料、半导体材料、化学材料、生物类样品等进行表面微观形貌、组织分布、成分分析。
3.整套设备原装进口,设备组成:
由台式电镜主机、三级电磁透镜系统、真空系统、样品室及自动样品台、高真空二次电子探测器(SE)、高真空背散射电子探测器(BSE)、牛津电制冷X射线能谱仪、控制系统、离子溅射仪、光学减振台等部分组成。
4.技术指标
4.1电子光学系统
4.1.1电子枪:发叉式钨丝阴极
★4.1.2分辨率:高真空二次电子像 ≤5.0nm @30kV SE
4.1.3加速电压范围:1kV-30kV
★4.1.4放大倍数范围:20X-150,000X,连续可调
4.1.5三级电磁透镜系统:二级聚光镜+物镜,三级电磁透镜系统。
4.2.1抽真空系统:涡轮分子泵 + 机械泵,不需要冷却水
4.2.2样品室最高真空度:优于4X10-3Pa
4.2.3抽真空时间:≤2分钟
★4.3自动样品台:三轴马达驱动,X ≥35mm,Y ≥35mm,T (0~45°)
★4.4 SE探测器:高真空二次电子探测器(SE)1套;
★4.5 BSE探测器:高真空背散射电子探测器(BSE)1套;
4.6不少于6个接
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