塔里木大学第五批设备购置采购项目4包6可变真空超高分辨场发射.DOCVIP

塔里木大学第五批设备购置采购项目4 (包6 可变真空超高分辨场发射扫描电镜及配套设备) 更正（补充）事项公告 1、原公告项目名称：塔里木大学第五批设备购置采购项目4 2、原公告项目编号：BTJYCGZB2018136-6 3、首次公告日期：2018年6月13日 4、更正内容：原技术参数变更为 序号 设备名称 参数 单位 数量 是否进口 可变真空超高分辨场发射扫描电镜及配套设备 （一） 设备名称、型号、数量 名称：扫描电子显微镜及配套设备 数量：1套 （二） 用途及基本要求： 可变真空超高分辨场发射扫描电镜及配套设备主要用于材料的高分辨微观形貌表征和微区分析研究。原装进口采用国际最先进设计技术制造，具有性能卓越的电子光学系统和信号探测系统，对磁性样品，导电性不好的样品及生物样品等适用性更强。设备要求操作简洁、使用维护简单、操作者经过培训能很快掌握。可实现与能谱仪最佳匹配，并满足各自的技术指标。同时要求，可靠性好，性能稳定，消耗少，运行使用成本低，售后服务好。 （三）技术参数和功能要求 （1）可变真空超高分辨场发射扫描电镜技术参数要求 1．工作条件: 1.1电源: 230V (-6%/+10%) / 50Hz (±1%) 1.2 主机功耗： 3.0 kVA 1.3运行环境温度: 17-23°C 1.4运行环境：相对湿度 80% (无冷凝) 1.5残余交流磁场 100nT (非同步频率)；300nT (同步频率) 1.6噪音： 60 dBC 1.7干燥无油压缩空气 4-6 bar 1.8仪器运行的持久性：可连续运行 2．设备用途： 2.1高分辨扫描电子显微分析系统主要用于纳米材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析。 3．技术规格 3.1 电子光学系统 3.1.1 分辨率（平均值统计法）： 3.1.1.1* 高真空成像分辨率： ≤0.7nm @15kV ≤1.0nm @1kV（非减速模式) ≤0.8nm @1kV（减速模式) ≤0.9nm @500V ≤1.8nm @100V 3.1.1.2* 低真空成像分辨率： ≤1.0nm @15kV ≤1.8nm @3kV 3.1.1.3* 10mm日常工作距离分辨率以满足EDS能谱分析要求： *电子束流：1 pA ～ 400 nA，连续可调，配备电流测量装置 3.1.7 束流稳定性：每10小时 0.4% 3.1.8 60°锥度物镜几何设计，双物镜系统 3.1.9* 自动式物镜光阑：物镜光阑应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。自动光阑，无需人工参与 3.1.10 电子枪维护可以自动烘烤、自动启动。 3.1.11 系统对中、合轴：全自动 3.1.12 电子束位移范围：不小于±20um 3.2 样品室和样品台 3.2.1*样品室内宽：340mm * 340mm，最大样品尺寸不小于120mm 3.2.2 分析工作距离10mm 3.2.3 不少于12个探测器/附件接口（所有端口程序均免费开放，可安装能谱、波谱、EBSD、CL、STEM探头、红外探头、纳米机械手等等） 3.2.4*五轴马达驱动优中心样品台： X/Y ≥110mm；Z ≥ 65mm；T = -15°～ +90°；R = 360°连续旋转；步进进度优于100nm，样品台最大承重量2.0 kg，新型多样品台 (可放置截面观察，预倾斜以及STEM样品) , 以满足高通量实验需求。* 检测器： 3.3.1 样品室内二次电子检测器 3.3.2 样品室可伸缩式背散射电子检测器 3.3.3 样品室低真空二次电子检测器 3.3.4镜筒内高位二次电子检测器 3.3.5镜筒内低位二次电子检测器 3.3.6镜筒内背散射电子检测器 3.3.7 大视野导航光学信号检测器 3.3.8光学导航探头检测器 3.3.9样品室IR-CCD相机 3.4 真空系统 3.4.1完全无油真空系统 3.4.2 一个220L/S的涡轮分子泵和两个离子泵 3.4.3 一个涡旋泵 3.4.4 样品室真空度：优于6×10-6 mBar （72 小时抽气后）≤ 3.5分钟 3.4.6保护：自动真空抽气及诊断系统,具有断电、缺水、失真空保护系统 3.4.7*防污染装置：一体化等离子清洗器，等离子清洗与电镜为同一品牌，可由电镜直接控制等离子强度，以免对探头造成损害*、Si3N4新型窗口耐高压大于8个大气压， 耐高温大于650摄氏度。 3* 脉冲谱仪处理板集成在探测器内，无需独立的谱仪箱，能谱仪硬件除了探测器和计算机无需其他部件。 4、分析元素范围：Be4~U92 5、能量分辨率(Mn-Ka)：优于127eV, 严格依照ISO15632国际标准测量 6、优异的低能端分辨率： Al Lα to Al Kα 峰比率1:1 7、 最大输入计数率 200万CPS，最大输出计数率8