双联腔三振子无阀压电微泵的分析与设计-analysis and design of valveless piezoelectric micropump with double cavity and triple vibrator.docxVIP

摘要微流体系统是指在微观尺寸控制、操作和检测复杂流体的技术，微泵是微流体系统的主要驱动器件之一，是微流体系统发展水平的重要标志。目前己研制出多种类型的微型泵，而其中无阀微泵因其结构简单等优点成为近年来的研究热点。本论文提出了一种新型无阀微泵——双联腔三振子无阀压电微泵。它的主要组成部分包括两个连体腔、腔体两侧的扩张/收缩口以及三个膜（中间膜是共用膜）及膜上的压电振子。本新型微泵结构简单、紧凑、易控制、可靠性和使用寿命显著提高，可以能实现精细、小脉动、大流量、高效率地传输流体。课题主要研究内容：(1)提出一种新型无阀微泵，阐述了其工作原理，对它的致动方式、驱动方案、复合压电振子的结构、扩张/收缩管的形状和尺寸、泵腔及缓冲腔的形状和几何参数进行了研究和设计。(2)建立了新型微泵工作的关键部件——复合压电振子的力学模型，推导了复合压电振子的弹性曲面微分方程和振动方程。利用ANSYS软件对振子进行了静力学分析和动力学分析，对振子进行了结构优化。(3)研究了微尺度下流体流动的特性，分析了扩张/收缩管的压力损失系数和能量损失，推导了扩张/收缩管的流量和效率。利用FLUENT软件对扩张/收缩管、泵腔以及缓冲腔进行了深入分析，对它们的结构参数进行了优化。研究结果为压电驱动无阀微泵的研究和设计提供了参考数据，对于微泵系统的研究和应用具有一定的理论价值。关键词双联腔三振子无阀泵；复合压电振子；连体腔；扩张/收缩管；微流体流动；结构优化AbstractMicrofluidicsystemisatechnologyofcontrolling,manipulatinganddetectingcomplexliquidinmicrocosmicsize.Micropumpisanimportantexecutionunitofmicrofluidicsystem,whichindicatesthedevelopinglevelofmicrofluidicsystems.Varioustypesofmicropumpshavebeendeveloped,especiallyvalvelessmicropumpswithsimplestructureattractmuchmoreattentionandhavebecomefocusofresearchinrecentyears.Inthisthsis,anewmicropumpisputforwardnamedvalvelessmicropumpofanintegrationofdoublecavitywithtri-vibrationalfilm。Itsmainunitsconsistofthedoublecavities,thedoublediffusers/nozzlesbesidethecavities,thetopcompositepiezoelectricvibrators,themiddleonewhichconnectsthedoublecavitiestogether,andthenetherone.Thenewmicro-pumphastheadvantageswithsimpleandcompactstructure,easymanipulation,andahighreliabilityaswellasaremarkablyimprovedlife-span.Transferringliquidwithfineness,largerunoffandhighefficiencycouldberealizedinthenewtypemicro-pump.Themainresearchcontentasfollows:(1)Anewvalvelessmicro-pumpisputforwardwithitsworkingprincipleintroduced.Thethesisalsoofferstheelementarydesignofthecontrollingproject,actuatingmodeofthenewmicro-pump.Thefiguresofthecompositepiezoelectricvibrators,thediffusers/nozzlespipe,cavityofthemicro-pumpandthecushionchamberarealsoprimarilydesigned.Keypartsworkinginthenewtypemicro-pumpareestablished--simplifiedmodelofthecompositepiezoelectricvibrators,deducingtheelasticallycrookeddiffer