ZnO纳米阵列结构酒精气敏特性研究.PDFVIP

第 卷第 期 西 安 工 业 大 学 学 报 ３６ ９ Ｖｏｌ．３６Ｎｏ．９ 　 　 　 　 　 　 　 年 月 　　　　　　　　　　　 ’ 　　　　　　　　　　　 ２０１６ ９ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＸｉａｎＴｅｃｈｎｏｌｏｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｓｅ．２０１６ ｇ ｙ ｐ ： ／ ＤＯＩ１０．１６１８５ ．ｘａｔｕ．ｅｄｕ．ｃｎ．２０１６．０９．００４ ｊｊ ＺｎＯ纳米阵列结构酒精气敏特性研究 １ ２ 曹 磊 ，丁继军 　 （ 西安工业大学 理学院，西安 ； 西安石油大学 理学院，西安 ） １． ７１００２１２． ７１００６５ 摘 要： 为了提高ＺｎＯ气敏元件对酒精蒸汽的气敏响应，改善气敏元件的稳定性及耐久性， 　 　 文中采用化学水热法在预处理后的陶瓷管电极表面生长ＺｎＯ纳米阵列材料，通过退火处理后 得到薄膜 气敏元件 借助 射线衍射仪和扫描电子显微镜对所得产物的晶体结构和形貌 ＺｎＯ ． Ｘ 进行表征 采用静态配气法对其进行不同浓度（ －４， －４， －４， －３）的酒精蒸 ． １×１０ ２×１０ ５×１０ １×１０ 汽气敏性能测试 实验结果表明：该结构为分散均匀的 纳米线阵列状结构，该纳米结构薄 ． ＺｎＯ 膜气敏元件具有较好的气敏性能，具有较快的响应及恢复 随环境中酒精蒸汽浓度的增加，其 ． 气敏性能逐步提升，在 －４酒精蒸汽气敏浓度下气敏性能达到峰值 不同浓度条件下，气 ５×１０ ． 敏响应及恢复时间不同，在 －４条件下度响应时间最快， －３浓度下恢复时间最快， １×１０ １×１０ －４浓度下响应恢复时间最均衡 ２×１０ ． 关键词： ＺｎＯ；纳米线阵列；酒敏性能；薄膜元件 　 中图号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＢ４３ Ａ １６７３９９６５２０１６０９０７０５０４ 　 　　　　 　 　 犌犪狊犛犲狀狊犻狀 犘狉狅犲狉狋狅犳犣狀犗犖犪狀狅狑犻狉犲狊犃狉狉犪 犳狅狉犈狋犺犪狀狅犾 犵 狆 狔 狔 １ ２