调整XYTable上ScanHead.pptVIP

调整X/Y Table 上的Scan Head位置 调整目的 安装X/Y Table上的Scan Head 后，调整Scan Head和光尺的间距和角度，使其间距为0.5mm，并通过示波器观察，波形达到调整要求. 使用仪器 PWM8(见图1) 示波器(见图2) 11uAss 模块和连接线331692-03(见图3) 图1：PWM8 图2:示波器 图3 连接仪器和设备 连接11uAss 模块和PWM8，如下图： 连接仪器和设备 连接PWM8和机台。 用331692-03 Cable连接X/Y Encoder 和PWM8的INPUT 输入端。 连接仪器和设备 PWM8 与示波器的连接 PWM8的A端连接示波器的CH1,B端连接示波器的CH2. 设定PWM8和示波器 仪器和机台连接完后，打开PWM8和示波器。 PWM8开机后，先按Mode(图7),再按AHPL.MESSEN(图8)后退出； 设定PWM8和示波器 设定PWM8和示波器 按BNC键， 设定PWM8和示波器 再按BNC A, 设定PWM8和示波器 并把BNC A 调到BNC A Ue1;同样按BNC B, 把BNC B调到BNC B Ue2。 设定PWM8和示波器 按[o]键， 设定PWM8和示波器 并调到10o 。 设定PWM8和示波器 示波器的调节 选择CH1，调节Position键，将CH1调至Y方向中央 同CH1,将CH2调至Y方向中央 将CH1和CH2 的电压都调节至1V。如图14 设定PWM8和示波器 按Menu键，选择Trigger Mode菜单，并调节至Auto trigger mode,按Clear Menu退出。如图15 采集波形 PWM8和示波器调整好后，移动BH即可在示波器上见到CH1和CH2两条波形。波形的变化与BH移动的速度有关，若始终无法获得满意的波形，调节CH1和CH2的周期单位即可。 见到满意的波形后，按HOLD键即可锁定当前波形。如图16 采集波形 波形要求 如图16所示，波形要求如下： PK1电压3.6+/-0.6V范围内 PK2电压3.6+/-0.6V范围内 PK1/PK2=1+/-0.15 Tp/Tc在0.2222到0.2777之间 注：PK1—CH1的振幅 PK2—CH2的振幅 Tp—CH1和CH2的周期差 Tc—CH2的周期 以上要求必须同时满足，不能满足时调节Scan Head的位置，见“Scan Head的调节” X/Y Table Home位置波形的检查 X/Y Table Home位置波形的检查，需要重新设定PWM8,设定方法如下： 把BNC A 调到BNC A Ue0 把BNC B调到BNC B 1+2,如图17 按Menu键，选择Trigger Mode菜单，并调节至Normal,按Clear Menu退出，如图18 X/Y Table Home位置波形的检查 Home 位置波形的采集 PWM8重新设定好后，移动BH即可在示波器上见到CH1和CH2两条波形。波形的变化与BH移动的速度有关，若始终无法获得满意的波形，调节CH1和CH2的周期单位即可。 见到满意的波形后，按HOLD键即可锁定当前波形。如图19 X/Y Table Home位置波形的检查 X/Y Table Home位置波形的检查 如图19，波形要求如下： V电压在1.15-2.3V之间 T1/T2=0-0.0555之间 T2/E=0.8333-1.1667之间 注： V—CH1波谷和CH2波峰之间的振幅 T1-—CH1和CH2周期之差 T2—CH2的周期 E—CH1和CH2交点之间的周期 以上要求必须同时满足，不能满足时调节Scan Head的位置，见“Scan Head的调节” Scan Head的调节 Scan Head 的位置 把X/Y Table的 Scan Head上的黑色罩板取下。(如图20) Scan Head的调节 调节Scan Head与光尺的距离在0.5+/-0.1mm.调节方法如下 松掉固定Scan Head基座的两颗螺丝，调整好间距后固定即可 Scan Head的调节 注意：不能松两颗定位螺丝（ Scan Head 基座紧靠定位螺丝安装， Scan Head与光尺的距离理论上即为0.5mm），如图22 Scan Head的调节 间距调节好之后，调整Scan Head 的角度，观察波形，图16与图19的波形都符合要求以后再将Scan Head固定即可。 Scan Head的调节 在调节Scan Head角度的时候，可以调节基座顶部的顶丝，以微调角度。 Thank Yo