真空的获得及测量.pdfVIP

实验实验 4-4-1 1 真真 空空 的的 获获 得得 与与 测测 量量 实验实验 44--1 1 真真 空空 的的 获获 得得 与与 测测 量量 一、一、基本知识基本知识 一一、、基本知识基本知识 1、1、真空度量单位和区域的一般划分真空度量单位和区域的一般划分 11、、真空度量单位和区域的一般划分真空度量单位和区域的一般划分 真空度是对气体稀薄程度的一种客观度量，最直接的物理量应该是每单位体积中的分子 数，但由于历史的原因，真空度的高低通常以气体的压强来表示。气体压强越低，真空度就 越高，气体压强越高，真空度就越低。 国际计量大会规定的国际单位制 （SI）压强单位是帕斯卡 （Pascal ），简称帕(Pa) 。一帕 2 等于 1 牛顿/米 。早期曾以一毫米汞柱 （㎜Hg ）作为压强单位，将 760 ㎜ Hg 规定为一个标 准大气压。 但后来发现汞有七种同位素，纯汞也就没有确定的密度，因此以一毫米汞柱 （㎜Hg ） 作为压强单位是不标准的，经第十届国际计量大会规定，改用帕(Pa)来定义标准大气压。 1 标准大气压 （ATM ）=101325 帕(Pa)，并规定标准大气压的 1/760 称为 1 托（Torr ）： 1标准气压 2 1 托（Torr ）= =133.322 牛顿/米 =133.322 帕(Pa) 760 以帕(Pa)规定的标准大气压是绝对严格的，它在数值上与汞柱规定的 “标准大气压”几 乎相等 （1 毫米汞柱=1托）。 真空区域的划分，国际上还没有统一的规定，国内也不尽一致。通常分为以下五个区域： 5 3 粗真空 760～10 托（1.013×10 ～1.333×10 帕） -3 3 -1 低真空 10～10 托（1.013×10 ～1.333×10 帕） 高真空 10-3 -8 -1 -6 ～10 托（1.333×10 ～1.333×10 帕） -8 -12 -6 -10 超高真空 10 ～10 托（1.333×10 ～1.333×10 帕） -12 -10 极高真空 ﹤10 托（1.333×10 帕） 2、2、真空的基本特点真空的基本特点 22、、真空的基本特点真空的基本特点 从物理现象来看，粗真空以分子相互碰撞为主，即分子自由程λ≤容器尺寸d ；低真空 则是分子相互碰撞和与器壁碰撞不相上下；高真空时以分子与器壁碰撞为主，即λ》d；超 高真空时分子碰撞器壁的次数已很少了，形成一个单分子层的时间已达到以分钟计；极高真 空时分子数已很稀少，统计涨落现象已较严重 （﹥5%），经典统计规律产生了偏差。 kT 同一种气体分子的平均自由程为：λ (1) 2πσ 2 Ρ 式中 σ为分子直径，P为压强，T为气体温度，k为波尔兹曼常数。 - 氮气在压强为 10 Torr 室温的平均自由程为 50km，电子和离子的平均自由程分别是气 体分子的平均自由程的 4 2 和 2 倍。因此除非在宇宙空间，几乎所有地面上体积有限的 超高真空系统中，气体分子之间或气体分子与带电粒子之间的碰撞都可近视忽略。这就