《传感器与检测技术》34电容式传感器.ppt

* * * * * * * * 所谓二极管理想化就是强调其单向导通性，忽略导通电阻和压降，忽略反向漏电流等因数。 * * * * * * 3.4 电容式传感器 3.4.1 电容式传感器的工作原理 3.4.2 电容式传感器主要性能 3.4.3 电容式传感器的特点和设计要点 3.4.4 电容式传感器等效电路 3.4.5 电容式传感器测量电路 3.4.6 电容式传感器的应用 3.4.7 容栅式传感器 3.4.7 容栅式传感器 (1) 基本类型及工作原理 (2) 容栅传感器电极的结构形式 (3) 信号处理方式 (4) 容栅式传感器应用 (1) 基本类型及工作原理 长容栅 圆容栅 片状 柱状 长容栅 n－动尺栅级片数 a , b－栅极片长度和宽度 C Cmax 0 a W 3a 2W x 柱状圆容栅 r2 , r1 － 圆盘栅极片外半径和内半径 a － 每条栅极片对应的圆心角（rad） (2) 容栅传感器电极的结构形式 （a）直电极反射式 （b）直电极透射式 （c）反射式L型电极 (a)直电极反射式 结构形式简单，使用方便， 移动过程中，导轨的误差对测量精度影响较大 (b)直电极透射式 测量调整方便、安装误差和运行误差的影响降低、制造安装困难 (c)反射式L型电极 增大反射电极的面积，增加耦合的电容量， 提高传感器的灵敏度，增强抗干扰能力和提高稳定性 (3) 信号处理方式 鉴幅式测量电路 系统可达到0.001mm分辨力，主要在测长仪上使用， 鉴相式测量电路 系统分辨力为0.01mm，主要在电子数字显示卡尺等数显量具上使用。 （a）鉴幅式测量系统 （b）鉴相式测量系统 式中，Um——发射电极激励信号基波电压幅值； ω——发射电极激励信号基波电压的频率。 设 设 ?反映了传感器输出电压相位的变化规律，而?又与位移x有关， 故通过测量输出电压的相位，就可间接的测量位移的大小。 鉴相式测量电路具有较强的抗干扰能力。 鉴相式测量电路在理论上还存在非线性误差， 同时由于激励电压含有高次谐波，影响了测量精度。 (4) 容栅式传感器应用 主要应用于量具、量仪和机床数显装置。 角位移容栅传感器已在电子数显千分尺及机床分度盘中应用。 线位移容栅传感器已在电子数显卡尺、数显深度尺、数显高度尺、机床数显标尺中应用 End the 3.3 * 第三章作业 5～10 附加：某电容传感器（平行极板电容器）的圆形极板半径 r=8mm，工作初始极板间距离 ，介质为空气。问： （1）如果极板间距离变化量 ，电容的变化量是多少？ （2）如果测量电路的灵敏度 k1=100mV/pF，读数仪表的灵敏度 k2=10(格/mV）,在 时，读数仪表的变化量为多少？ * 能在高温、辐射和强烈振动等恶劣环境条件下工作，广泛用于位移、压力、振动及液位等测量 * * 由两块平行板组成的一个电容器，若忽略边缘效应，可得到其电容量 理想电容器的电场线是直线,而实际电容器只有中间有些区域电场线勉强是直线,越往外电场线弯曲的越厉害.到电容边缘时电场线弯曲最厉害,这种电场线弯曲现象就是边缘效应 * * * * * * * * * * * * (3) 消除和减小寄生电容的影响， 防止和减少外界干扰 （a）屏蔽和接地 （b）增加初始电容值，降低容抗。 （c）导线间分布电容有静电感应，因此导线和导线要离得远，线要尽可能短，最好成直角排列，若采用平行排列时可采用同轴屏蔽线。 （d）尽可能一点接地，避免多点接地 (4)差动技术的运用 减小非线性误差 提高传感器灵敏度 减小寄生电容的影响 温度、湿度等环境因素的影响 3.4 电容式传感器 3.4.1 电容式传感器的工作原理 3.4.2 电容式传感器主要性能 3.4.3 电容式传感器的特点和设计要点 3.4.4 电容式传感器等效电路 3.4.5 电容式传感器测量电路 3.4.6 电容式传感器的应用 3.4.7 容栅式传感器 3.4.4 电容式传感器等效电路 L包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感； r由引线电阻、极板电阻和金属支架电阻组成； C0为传感器本身的电容 Cp为引线电缆、所接测量电路及极板与外界所形成的总寄生电容 Rg是极间等效漏电阻 极板间的漏电损耗和介质损耗、极板与外界间的漏电损耗和介质损耗 r C0 CP Rg L 低频等效电路 传感器电容的阻抗非常大，L和r的影响可忽略 等效电容C=C0+Cp， 等效电阻Re≈Rg C Rg 高频等效电路 电容的阻抗变小，L和r的影响不可忽略，漏电的影响可忽略 ，其中C