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丝网工艺培训教材 宋锋兵 1 太阳能电池工艺基本流程 前清洗（制绒） 扩散 PECVD SiNx 后清洗（刻边/去PSG） 丝网印刷/烧结/测试 2 3 丝网机台(Baccini) 4 丝网印刷概念 把带有图案的模版附着于丝网上进行印刷 通常丝网由尼龙、聚酯、丝绸或金属网制作而成 承印物直接放在带有模版的丝网下面，浆料在刮刀的挤压下穿过丝网间的网孔 只有图像部分能穿过，印刷到承印物上 加入浆料 刮刀施加压力朝丝网另一端移动 丝网与承印物之间保持一定的间隙 浆料从网孔中挤压到基片上 丝网张力而产生反作用力-回弹力 丝网与基片只呈移动式线接触 刮板抬起，丝网脱离基片 工作台返回到上料位置，完成一个印刷行程 丝网印刷行程 5 6 丝网印刷/烧结/测试流程 7 注意的问题： 此处最多出现的问题为吸双片和造成较多碎片 解决方法： 调节上图中的真空吸力（a处），并适当调节（b处）的吹风力度。 b a 8 丝网印刷台面 通过括刀一次移动 通过括刀来回移动印刷二次。 先括刀往前移动，印刷一次。 电池到网板的距离(1800左右) 印刷完成后电池到网板的距离 印刷位置向上移动至停止位置的速度 印刷时括刀的位置 印刷和回墨完成后，印刷头的停止位置 印刷时括刀下降的压力（100左右） 括刀夹持器的水平移动 能修正网板的位置 印刷完成后程序延迟抬高网板和括刀的时间 印刷速度（200左右） 刮浆料速度 其中三个参数为工艺常调节： 1.sanp-off---主要控制网板台面的高度-----控制栅线的高度-----我们电池到网板的距离(1800--3300左右) 2.pressure---刮刀压在网板上的压力-----控制栅线的连续，防止虚印，以及粘板等-----我们控制在75-100N 3.printing speed----刮刀在网板上移动的速度----太小影响效率，太大出现虚印----我们控制在200以内 10 910号相机的位置 11 910号相机的作用是为准确印刷电极的位置，确保丝网在电池片上的正确位置，防止出现偏印。 1. 校正点位置重新调整步骤: (以Alignment Error Camera 9 报警为例,假设图像显示校正点位置偏低.) 先按F5键将印刷头升高. ①Baccini主菜单中Vision ②51Cameras Pieces Alignment ③Image ④Live cam 9点 ⑤ Move Camera 9 Axis ⑥ Screen position Y camera 9 move ⑦Step offset (100) ⑧ B(-) ⑨ Confirm Pos. ⑩ Exit Save 注:A. 为便于观察和调整,最好将③Image 界面移到屏幕左边,将 ⑥ Move 界面移到右边. B. ⑦ Step offset 值和调整方向(F-/B+)根据校正点在图像中的位置确定,最终将校正点调整到图像框的中心. C.每次调整后需将数据确认(Confirm)和保存(Save data)后,所做调整才有效. 只要校正点清晰完整，位置调整好后网版一般能通过自动识别，不需要以下操作，就可以进行生产了。 12 13 此处经常放吸尘纸----便于发现漏浆； 由于此处有真空吸力----会出现碎片； 如不经常更换会出现较多Rs失效----建议关于多久更换可以有一个规程 此处已成为失效排查首要地方！ 14 X、Y、Theta piece offsets（印刷图形位置）：印刷图形相对于硅片的位置。调整相应得X轴、Y轴，以及转角的角度以适应硅片的印刷，使印刷图形符合我们印刷要求。------否则会出现印刷偏移！！ 在下图界面可以看到印刷的数值 15 刮刀的实际位置 调节刮刀限位旋钮使得刮刀可以继续向下运动，或阻止它向下运动一段距离。 调节刮刀限位旋钮可以间接调节刮刀的印刷位置，因为在压力模式下工作。如果此旋钮接触到下面则压力会增大很多，压力感应器就会自动调节刮刀的位置。此位置不能调节太大，否则会造成 报警。 烘干装置 16 此处为较多的污染处 烘干装置常存在的问题和解决方案 1.由于机械手的夹片运动，会出现较多碎片-----可以在挂钩处加上泡沫或胶带，已增加其缓冲力度； 2.花篮处的清洁很重要-----因为电池片正面在花篮上，又因为烘干有较多有机物常常凝结在花篮处-----造成Rs失效------按期清洁花篮； 17